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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性 好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来 说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻 温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数 (TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时 会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜 电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度 系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为 兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻 靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜 稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。 C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量 的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。 技术指标如下: 温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后 ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议 2 半导体微环激光器 3 基光电集成电路 4 无线网络与应用:协作无线网络 5 移动通信—LTE 技术
天津大学 2021-04-11
小型表面贴装磁屏蔽功率电感
功率电感广泛应用于开关电源中,在电路中起滤波作用,其性能直接影响到开关电源的性能。例如,低的安装高度、小的体积会很大程度上缩小开关电源的体积,提高其功率密度;高的电感值会减小开关电源的纹波大小;低的漏磁场不会干扰其他电子元器件的正常工作;耐大电流的能力使其能传输更大的功率。因此,功率电感必将朝着小型、高感值、耐大电流、磁屏蔽及表面贴装的方向迈进。现有的功率电感,要满足小型、高感值、耐大电流其中的两者是容易实现的。如需满足小型、高感值的要求,则采用线径较细的漆包线绕制较多的匝数即可实现,但其额定电流值很小;如需满足小型、耐大电流的要求,则采用较粗线径的漆包线绕制较少的匝数即可实现,但其电感值小;如需满足高电感值、耐大电流的要求,则可采用线径较粗的漆包线绕制较多的匝数即可实现,但其体积将严重变大。除以上三大特性外,低电磁干扰及表面贴装的设计也是发展潮流。因此,兼具以上五种性能的小型、大电流表面贴装电感必将成为元器件市场争夺的热点。
电子科技大学 2021-04-10
模拟医师手法的智能艾灸穴位贴
【核心专利】一种智能艾灸穴位贴装置及实现模拟不同艾灸手法的方法 -CN201610264273.6  发明人】祁兴华 【技术领域】人工智能、生物医药 【摘要】艾灸作为中医传统保健治疗手段之一,被广泛应用于医疗机构疾病治疗和家庭防病保健。补元益气,温肾固脱,回阳救逆,温中散寒,理气止痛,补肾纳气  ,安神定志 ,补血调经 ,延年保健。艾灸盒的使用可以部分替代人工操作,是家庭必备常用医疗器械。艾灸时操作不便,需他人协助且极可能烫伤皮肤。常用简易艾灸盒可部分替代人工操作,但燃烧时温度不易控制,还带来刺激性烟尘等问题。 本项目是一种智能艾灸穴位贴,可以模拟实现医师的“定、旋、啄、摆”等艾灸手法。艾灸贴配套贴片使用,不同药物组方的贴片对应不同的疗效,贴片贴于穴位上,艾灸贴贴在贴片上,经温热效应、药物挥发吸收、药物透皮吸收、模拟医师手法综合作用后,使得艾灸药效直达经络,艾灸效果更好,也使用户体验感更强,对于防病治病养生保健有很好的作用。本项目的研制更有利于灸疗的推广,而且使用更为方便,具有相当高的市场前景。
南京中医药大学 2021-04-13
高可靠忆阻器件及其视听觉传感应用
        技术成熟度:技术突破         传统CMOS工艺的图形处理器通常是由探测、存储、处理等多个分立系统构成,不可避免的增加了集成电路的复杂性、功耗和成本,忆阻器在新型信息存储器件、存算一体化技术及人工神经网络等领域有着巨大应用潜力。         研发团队发展的感存算一体化新型光电忆阻材料与器件能够解决传统人工视听觉系统在容量、集成度、速度等方面的技术瓶颈问题,是实现高效智能视听觉传感系统的基础。研发团队首次在基于氧化钨材料忆阻突触器件的视听觉系统中模拟了速度检测的多普勒频移信息处理,进而实现高通滤波和处理具有相对时序和频移的尖峰数据。这些结果为视听觉运动感知的模拟提供了新机会,促进了其在未来神经形态传感领域的应用。         意向开展成果转化的前提条件:中试放大及产业化工艺开发资金支持
东北师范大学 2025-05-16
神经形态忆阻器
传统计算机采用分立的处理器和存储器,所有计算数据都要通过总线进行搬运,造成了存储墙、功耗墙等突出问题。基于忆阻器的神经形态器件能够在物理层面模拟生物突触、神经元信息处理功能,从而实现局域的存算融合,从根本上解决冯诺依曼瓶颈,带来巨大的性能和能效提升。
北京大学 2021-02-01
纳米多功能高效节能玻璃贴膜技术
利用真空多靶磁控溅射镀膜技术在普通的PET薄膜上镀制9层金属、氧化物和氮化物纳米多层膜,从而使普通的PET薄膜具有隔热、保温、防紫外等多种功能,可广泛用于汽车玻璃和建筑玻璃的节能贴膜。可节约汽车或大玻璃窗建筑冬天或夏天利用空调加温或制冷所需能量的30%以上。
北京航空航天大学 2021-04-13
ByeN减氮新材料
适用范围:覆盖现有90%以上新旧污水设施,污水处理新时代的驱动芯片。 基本原理 1、自养/异养协同系统构建。利用自养与水中原有碳源的异养协同反硝化作用,在无有机碳源添加下实现硝酸盐高效去除,有效解决长期运行过程中的微生物-电子供体材料界面耦合过程的稳定性,降低运行成本。2、反硝化活性提升。通过微生物活性提升机制,有效提高硝酸盐去除稳定性,能够应对水质水量的冲击。保障传统基于硫的反硝化工艺在不同季节、气候的场地差异性环境下高效稳定运行。自养/异养协同高效硝酸盐去除技术为我国氮污染治理反硝化技术体系的完善及为目前我国迫切需要解决的污水处理厂传统工艺的升级改造提供支撑。 二、核心原理图   三、技术优势 1、综合成本低、污泥产量少、运行维护少; 2、处理效果优异,极限去污,可接轨地表水; 3、零”药剂投加  无任何碳源等药剂投加; 4、使用方式多变  适应不同除氮设施,兼容性强; 5、工艺简洁,维护频率低 省人工工作量和工作频率   申请专利 国家专利15项,其中发明专利 8项,实用新型7项。 1.ZL101792208A 污水脱氮方法、反应装置、反应器、生物膜组件及制法 发明专利2013.06.16 2.ZL201210140647.5高效除磷多孔性颗粒吸附剂的制备方法 发明专利2014.03.26 3.ZL201410346228.6一种铁改性壳聚糖除氟颗粒吸附剂及其制备方法 发明专利2017.01.11 4.ZL201610204784.9一种自养微生物反硝化法去除水中硝酸盐用材料 发明专利2018.11.09 5.ZL201821291282.5 一种用于净水器的高效直饮滤芯 实用新型 2019.04.15 6.ZL201821332388.5一种强化电氧化过程的组合式电絮凝污水处理装置 实用新型 2019.04.15 7.ZL201821289657.4 一种主次供氧均匀型微纳米气泡曝气机 实用新型2019.04.26 8.ZL201830401268.5 高效水龙头净水器 外观专利 2018.11.30 9.ZL201510604939.3   一种Fe-石墨烯颗粒高效去除地下水中硝酸盐的方法 发明专利2016.01.06 10.ZL201510604939.3   一种Ti纳米电极高效去除地下水中硝酸盐的方法 发明专利2015.06.25 11.ZL201510358216.X    一种Ti纳米电极高效去除水中硝酸盐的方法 发明专利  2017.04.05 12.ZL201720655743.1 一种城市合流制溢流污水预处理用的旋流装置 实用新型2017.12.22 13.ZL104069831A 一种高效除硝酸盐颗粒吸附剂及其制备方法 发明专利 2016.04.26 14.10-1527348 一种灭菌填料  发明专利  2015.06.03 15.ZL201721184506.8 一种无人船等离子杀藻设备 实用新型 2018.03.20     四、技术示范工程应用概况 目前该材料技术已成功应用到以下污水处理项目: 内蒙古准格尔旗召西社某农村污水处理项目 内蒙古准格尔旗毯房湾社某农村污水处理项目 内蒙古准格尔旗召东社某农村污水处理项目 内蒙古准格尔旗纳林村某农村污水处理项目 内蒙古准格尔旗福路村某农村污水处理项目 内蒙古沙圪堵镇某养老院农村污水处理项目 内蒙古乌兰察布市凉城某农村生活污水处理项目 天津滨海新区某家具厂生活污水处理项目 天津滨海新区某油脂厂“生活污水处理项目 重庆九龙坡区某村农村生活污水处理项目 以上所有污水处理项目标准均执行GB18918- 2002《城镇污水处理厂污染物排放标准》- -级A标准   实际应用案例 生物滤池应用案例-内蒙古乌拉特后旗水厂(12000 m³/d) 项目情况:1)进水C/N为0.7~1(进水BOD5=70~80 mg/L;TN=70 ~ 100 mg/L),原水碳源无法满足脱氮需求。 2)氧化沟内运行工况复杂且无法调节内回流比。 3)原有曝气生物滤池反冲洗频率高,且脱氮效果差。 改造过程:将原4格生物滤池改造为减氮生物滤池。利用ByeN材料替换原填料,装填高度1.2 m。 改造步骤:清掏填料、清洗滤头、整理滤板、淘洗承托层、装填填料,进水启动。 反冲洗管理:降水反冲洗为主(3d/周期),缓解滤头堵塞,实现驱除氮气;           气水反冲洗(15d/周期)后2~3h可恢复脱氮效果。
中国地质大学(北京) 2021-05-10
隔音降噪减振材料
本成果可满足新一代轨道列车隔音降噪要求,提高旅客的乘坐舒适性。
西南交通大学 2016-06-28
阻变存储器集成
已有样品/n垂直结构的高密度三维交叉阵列,结合了3D-Xpoint以及3D-NAND两种架构的优势,具有制备工艺简单,成本低廉以及集成密度高等优点。刘明团队在前期四层堆叠结构的基础上(IEDM 2015 10.2、VLSI 2016 8.4)实现了8层结构的设计,进一步验证了RRAM三维结构微缩至5nm以下的可能性。
中国科学院大学 2021-01-12
复合阻流体无阀压电泵
异形复合阻流体无阀压电泵,泵腔端面上安装有压电振子;泵座上设置有阻流体,泵侧壁上设置有连接泵腔与外界的第一、第二流体进出管,第一、第二流体进出管对称设置在泵侧壁上,阻流体包括前导体和主阻流体,前导体和主阻流体均为对称型结构,对称轴重合,对称轴的两端分别朝向第一、第二流体进出管;前导体具有引流面和阻流面,引流面朝向第一流体进出管,流体进出泵腔时,起分流引导作用;阻流面朝向主阻流体,流体进出泵腔时,起阻流引导作用;主阻流体包括引流面和阻流面,引流面朝向前导体的阻流面,阻流面朝向第二流体进出管。异形复合阻流体无阀压电泵较采用形状规则的阻流体的无阀压电泵可实现更好的泵送效果。
青岛农业大学 2021-04-13
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