内容介绍： 微机电系统（MEMS）具有体积小、重量轻、成本低、可靠度高等特点， 在航空、航天、汽车、消费电子等领域具有广阔应用价值。MEMS设计过程 复杂，高效的设计工具现已成为制约我国MEMS产业发展的关键。设计工具 分为系统级、器件级、工艺级三个设计层级，并具有三个层级之间的全部 数据传递接口，支持不同工程背景的设计者任意入口，任意流程的设计， 该设

一种微机电系统的圆片级真空封装方法，属于微机电系统的封装方法，解决现有封装方法存在的问题，使得微型真空腔长时间保持真空，满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括：刻蚀步骤：在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑，再环绕凹坑刻蚀环形凹槽；吸气剂淀积步骤：在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜；键合步骤：在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题，可以长时间保持微型腔体内的真空度，极大的推动圆片级 MEMS

一种微机电系统的圆片级真空封装工艺，属于微机电系统的封装方法，解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小，容易损坏，以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括：淀积吸气剂步骤；淀积薄牺牲层步骤；淀积缓冲腔牺牲层步骤；淀积厚牺牲层步骤；制作封装盖步骤；刻蚀释放孔步骤；去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短，密封质量低，封装尺寸大，工艺与标准 IC 工艺不兼容，成本高的问题，从而保证最里面的腔体气压；同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封

本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的玻璃衬底，深掺杂硅层，掺杂硅层的中部为扭转叉指结构，扭转叉指结构的正对位置设置有静态叉指结构。静态叉指结构的两端设有锚区，中间扭转可动叉指的的支撑梁的两端都设有锚区；静态叉指与中间扭转叉指形成第一电容和第二电容。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。

本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、氧化硅层及金属层，牺牲层的中部空心，氧化层的中部为扭转板，金属层的顶面设有锚区，金属层位于扭转板上方；扭转板的上方设置第一电容、第二电容，第三电容和第四电容，扭转板的顶面布设有第一电容引线、第二电容引线、第三电容引线，第四电容引线和沿扭转板边缘布设的金属线；金属线的两端分别与一个焊盘连接；底电极层与金属层连接；在氧化硅层的边部上方设置焊盘，金属层与焊盘连接。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。

1、机电液控制技术；2、流体传动及控制工程技术；3、极端环境测试技术；4、成套装备技术。

成果简介：该成果主要用于汽油机或对采用火花点燃式的LPG、CNG、醇类燃料等代用燃料内燃机的供油系统、点火系统和进气系统的综合控制，改善发动机的动力性、经济性和排放性能，实现发动机的替代能源。可实现点燃式发动机的点火、喷油和怠速空气量的动态和稳态协调控制，具有空燃比可调的闭环控制功能，空燃比（A/F）闭环控制的目标值可以随工况调整，适应三元催化转换装置（TWC）的工作窗口。能够根据车辆的启动、暖机、怠速、起步、加减速、大负荷以及闭环控制等工况要求协调控制发动机的点火、喷油和怠速空气量，改善发动机的

重庆机电职业技术大学（学校标识码：4150012607）始建于1971年，前身是重庆兵器工业职工大学，由长安、江陵、嘉陵、建设、长江、望江、西车、泸化等八所职大组成。2003年在重庆兵工职大的基础上成立全日制普通高等院校。2018年10月12日，教育部确定我校为全国首批本科层次职业学校改革试点单位，2018年12月19日，教育部致函重庆市人民政府《关于同意重庆机电职业技术学院升格为本科层次职业学校的函》（教发函﹝2018﹞166号），正式同意我校升格为本科层次职业学校，学校发展迈向了更高平台。2019年5月27日，教育部正式下文（教发函〔2019〕36号），批准更名为重庆机电职业技术大学，从2019年起即可面向全国招收本科学生。首批本科专业有：机械设计制造及其自动化、材料成型及控制工程、车辆工程、电气工程及其自动化、物联网工程、智能制造工程、大数据技术与应用、汽车服务工程、工程造价、物流管理等10个职业本科专业。学校是重庆市骨干高职院校，先后荣获“全国十大特色学校”“全国职业院校就业百强”“全国双创示范单位”“全国校企合作先进单位”称号，被教育部授予“国防教育先进单位”，是重庆市首个中国人民解放军定向培养士官高校。学校占地904亩，建筑面积26万平方米。校园规划合理，依山而建，环境优雅，风景秀丽，建筑气势恢宏，教学设施完备，实训中心规模宏大，学生宿舍、体育场所、生活服务中心一应俱全，是宜居宜行宜学的优质校园。学校实验实训中心下设机械工程中心、中德汽车工程中心、智能制造工程中心、产教融合协同创新中心、虚拟仿真教学实训中心，建有中央财政支持实训基地3个，校内外实习、实训基地125个，其中校外顶岗实习基地66个，馆藏图书近69.6万册。学校现有专任教师477人，生师比为17.36:1。专任教师中，具有副高级及以上专业技术职称教师186人，占专任教师的38.9%；具有研究生学位专任教师178人，占专任教师的37.3%；“双师型”教师253人，占专任教师的53%。有机械工程学院、汽车工程学院、电气与电子工程学院、信息工程学院、建筑工程学院、工商管理学院、国际艺术学院、通识教育学院、士官生学院、健康与国际教育学院、继续教育学院、马克思主义学院。设有机械制造、数控技术、机电一体化、汽车装配技术、建筑工程、会计与审计、艺术设计、家政等37个专业。学校坚持“德为根，人为本，和为贵，能为先”的办学指导思想，着力打造“兵工技师”“重庆技师”品牌，坚持“过硬的技能、良好的习惯、健康的心态、创新的意识”的人才培养要求，建设和谐校园、希望校园、进步校园、美丽校园，办人民满意的高职院校。近年来，学生在省部级及以上的各类技能竞赛中获奖148项，其中获国家级一等奖3项、二等奖13项、三等奖22项；省部级一等奖16项、二等奖23项、三等奖51项。代表中国高职院校赴新加坡参加“第九届（新加坡）国际市场营销大赛”获最佳创意奖；在全国大学生电子设计竞赛中荣获一等奖；在全国“挑战杯”创新创效创业大赛中获一二三等奖各一个；在全国职业院校技能大赛中荣获“机械部件创新设计与制造”二等奖。学校通过“校企合作、工学结合”等多种方式，陆续与200多家企业建立合作关系，先后与红宇工业、青山工业、蒂森克虏伯、东风小康、龙湖集团等企业签订校企合作培养协议，开展“合作班”“订单班”“试点班”等有针对性的培养，以强大的就业基地为基础构建多元化的就业渠道，以健全的职业规划指导与完善的就业服务，为学生就业搭建畅通渠道，同时为学生未来发展提供广阔空间。近五年，学校毕业生就业率连续保持在98%以上。学校的综合实力不断提高, 学校的声誉和社会影响不断扩大。市委、市政府、市教委主要领导都曾亲临我校考察指导，对学校的办学思想和建设发展给予了充分肯定。进入新时代，全校师生将深入贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想，秉承“在这里，只有我们，没有我”的校训，抓住职业教育发展的重要战略机遇期，始终坚持教学质量优先，坚持服务地方经济建设优先，进一步凝练办学理念，突出办学特色，保持职业教育属性，坚持质量为本、特色立校，面向市场，融入企业，以服务求支持，以贡献求发展，在服务中壮大自己的办学方针，为构建健康和谐的育人环境和协调向上的发展格局，为培养高层次技术技能人才而奋斗。