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高等教育领域数字化综合服务平台
光学微机电系统及可见光无线通信技术
南京邮电大学
2021-04-14
微机电系统集成设计工具
内容介绍： 微机电系统（MEMS）具有体积小、重量轻、成本低、可靠度高等特点， 在航空、航天、汽车、消费电子等领域具有广阔应用价值。MEMS设计过程 复杂，高效的设计工具现已成为制约我国MEMS产业发展的关键。设计工具 分为系统级、器件级、工艺级三个设计层级，并具有三个层级之间的全部 数据传递接口，支持不同工程背景的设计者任意入口，任意流程的设计， 该设
西北工业大学
2021-04-14
一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法，属于微机电系统的封装方法，解决现有封装方法存在的问题，使得微型真空腔长时间保持真空，满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括：刻蚀步骤：在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑，再环绕凹坑刻蚀环形凹槽；吸气剂淀积步骤：在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜；键合步骤：在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题，可以长时间保持微型腔体内的真空度，极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学
2021-04-14
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺，属于微机电系统的封装方法，解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小，容易损坏，以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括：淀积吸气剂步骤；淀积薄牺牲层步骤；淀积缓冲腔牺牲层步骤；淀积厚牺牲层步骤；制作封装盖步骤；刻蚀释放孔步骤；去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短，密封质量低，封装尺寸大，工艺与标准 IC 工艺不兼容，成本高的问题，从而保证最里面的腔体气压；同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封
华中科技大学
2021-04-14
32位微机原理及接口技术教学实验系统
采用Intel i386EX单板微机作为系统核心，具有Windows环境的汇编语言和C语言源程序调试环境，具有单步、跳过、断点、连续、变量跟踪等调试手段，全面支持80x86实模式和保护模式的教学实验，支持课程设计和电子竞赛。
西安唐都科教仪器开发有限责任公司
2021-02-01
机务段微机管理系统
随着计算机技术的大量应用，机务段内的很多科室都建立了适合自己科室情况的计算机管理系统，大大提高了各科室的管理效率。但是由于机务段各科室这间存在着很多密切的联系，许多数据需要在科室秘科室之间进行交换。在这种情况下，各科室的计算机管理系统就无法完成科室间数据交传递的任务。如果需要使用其他科室的数据，还需要再次进行输入，并没有充分发挥计算机数据共享的优势。因此需要建立一个跨科室的数据平台，为每个科室留出各自的数据接口。这样，一个科室的原始数据可以直接送到需要此数据的其他科室的数据库中。达到原始数据只需一次输入，就能全段共享。使整个机务段的各种数据实现有序流动，管理和使用。在数据有关联系起来的基础上，还可以实现一些高层次的管理应用。 本系统的最终目标应该包括两部分：一是实现一个跨科室的数据信息管理交换平台。在这个平台上，可以实现对各科室的数据进行查询、管理以及分析统计等功能；还提供各个科室与此数据平台的数据接口，可以实现不同系统，不同数据结构的转换，最大程度地保证了和现在各系统的兼容。二是建立一个检修车间的计算机数据采集管理子系统，本子系统不仅可以对过程中产生的原始数据进行自动采集并入库，同时可以自动将原始数据反映出的信息进行整理分类，并送到相关科室以生成各种报表和进一步的统计分析处理。检修过程中的数据可以实现一处输入，全段共享。使机务段的检修生产管理过程中通过此系统可以使生产过程的更加有序可控，可以按现有的规程实现对生产过程的评定。
西南交通大学
2021-04-13
微机测控气瓶疲劳试验系统
气瓶出厂时必须对其疲劳性能进行抽检，是安全监察规程中要求的强制检验项目，对于保证气瓶的安全持久使用具有重要意义。本系统即是为此目的开发出的微机测控气瓶疲劳试验系统。 本软件能够实现以下功能： 1.对试验过程中的数据实现自动采集、处理、分析和保存； 2.实时显示压力－时间和温度－时间曲线； 3.通过控制高压油泵和电磁阀，实现对试验过程升压－保压－泄压－保压循环的自动控制； 4.对硬件装置的异常情况提供预警和保护； 5.自动生成试验报告和电子文档，提供试验记录的可追溯性查询； 6.提供在线帮助系统。
大连理工大学
2021-04-13
一种扭摆式叉指微机电磁场传感器
本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的玻璃衬底，深掺杂硅层，掺杂硅层的中部为扭转叉指结构，扭转叉指结构的正对位置设置有静态叉指结构。静态叉指结构的两端设有锚区，中间扭转可动叉指的的支撑梁的两端都设有锚区；静态叉指与中间扭转叉指形成第一电容和第二电容。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。
东南大学
2021-04-11
一种扭摆平移式微机电磁场传感器
本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、氧化硅层及金属层，牺牲层的中部空心，氧化层的中部为扭转板，金属层的顶面设有锚区，金属层位于扭转板上方；扭转板的上方设置第一电容、第二电容，第三电容和第四电容，扭转板的顶面布设有第一电容引线、第二电容引线、第三电容引线，第四电容引线和沿扭转板边缘布设的金属线；金属线的两端分别与一个焊盘连接；底电极层与金属层连接；在氧化硅层的边部上方设置焊盘，金属层与焊盘连接。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。
东南大学
2021-04-11
基于硅衬底氮化物材料集成制备微机电可调谐振光栅
南京邮电大学
2021-04-14