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微机电系统集成设计工具
内容介绍： 微机电系统（MEMS）具有体积小、重量轻、成本低、可靠度高等特点， 在航空、航天、汽车、消费电子等领域具有广阔应用价值。MEMS设计过程 复杂，高效的设计工具现已成为制约我国MEMS产业发展的关键。设计工具 分为系统级、器件级、工艺级三个设计层级，并具有三个层级之间的全部 数据传递接口，支持不同工程背景的设计者任意入口，任意流程的设计， 该设
西北工业大学
2021-04-14
光学微机电系统及可见光无线通信技术
南京邮电大学
2021-04-14
一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法，属于微机电系统的封装方法，解决现有封装方法存在的问题，使得微型真空腔长时间保持真空，满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括：刻蚀步骤：在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑，再环绕凹坑刻蚀环形凹槽；吸气剂淀积步骤：在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜；键合步骤：在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题，可以长时间保持微型腔体内的真空度，极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学
2021-04-14
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺，属于微机电系统的封装方法，解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小，容易损坏，以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括：淀积吸气剂步骤；淀积薄牺牲层步骤；淀积缓冲腔牺牲层步骤；淀积厚牺牲层步骤；制作封装盖步骤；刻蚀释放孔步骤；去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短，密封质量低，封装尺寸大，工艺与标准 IC 工艺不兼容，成本高的问题，从而保证最里面的腔体气压；同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封
华中科技大学
2021-04-14
一种扭摆式叉指微机电磁场传感器
本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的玻璃衬底，深掺杂硅层，掺杂硅层的中部为扭转叉指结构，扭转叉指结构的正对位置设置有静态叉指结构。静态叉指结构的两端设有锚区，中间扭转可动叉指的的支撑梁的两端都设有锚区；静态叉指与中间扭转叉指形成第一电容和第二电容。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。
东南大学
2021-04-11
一种扭摆平移式微机电磁场传感器
本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、氧化硅层及金属层，牺牲层的中部空心，氧化层的中部为扭转板，金属层的顶面设有锚区，金属层位于扭转板上方；扭转板的上方设置第一电容、第二电容，第三电容和第四电容，扭转板的顶面布设有第一电容引线、第二电容引线、第三电容引线，第四电容引线和沿扭转板边缘布设的金属线；金属线的两端分别与一个焊盘连接；底电极层与金属层连接；在氧化硅层的边部上方设置焊盘，金属层与焊盘连接。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。
东南大学
2021-04-11
基于硅衬底氮化物材料集成制备微机电可调谐振光栅
南京邮电大学
2021-04-14
微机控制降温仪
在进行生物材料的低温保存时，不同的生物材料要求不同的降温程序，一些复杂的细胞还要求降温程序分成多段进行，每段程序有不同的冷却速率。本降温仪是利用液氮的自然蒸发在杜瓦容器内颈部所形成的温度梯度，精确地控制生物材料在此温度区（室温至－196℃）内上下移动，从而有效地控制样品的温度和降温速率。 与进口的液氮喷射式降温仪相比，本降温仪的优点是：液氮耗量极少，约大于液氮容器的自然蒸发率；便于直接保存，降温与保存可用同一液氮容器；易于进行“诱发结晶”，提高低温保存存活率；运行可靠，操作方便。 该仪器已获得国家新型实用专利，该仪器及其应用的许多研究论文已在国内外的期刊及会议上发表。本仪器已在全国各地推广应用，主要是医院、生物、农牧渔业及大专院校等进行皮肤、角膜、血液、骨髓、精液、卵、胚胎、植物种子等生物材料进行低温保存和研究。 主要技术指标 1、电源： AC 220V±10%， 50 Hz； 2、功耗： 小于25W； 3、控温范围： 室温 ～ －196℃； 4、降温速率范围： 0.01℃/Min ～ 20℃/Min； 5、恒温范围： 控温范围内的任意温度； 6、恒温时间： 0～999.9分钟/每段； 7、控温段数： 8段；
上海理工大学
2021-04-11
微机曙光2号
产品详细介绍
泉州市三维科技电脑有限公司
2021-08-23
微机曙光1号
产品详细介绍
泉州市三维科技电脑有限公司
2021-08-23