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一种超薄芯片的制备方法
本发明公开了一种超薄芯片的制备方法,具体为:首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域,再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄,对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片,最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了硅片,所以硅晶圆的机械强度仍然可以支持硅片进行后续的加工工艺,相对于传统的利用支撑基底来减薄芯片的方法,简化了工艺流程,降低了工艺成本。另外由于不需要用机械研磨工艺来进行减薄,所以不会因为机械研磨对硅晶圆造成的轻微震动而使厚度不能减得过小,通过本发明可以使芯片减薄到比机械研磨方法更薄的程度。
华中科技大学 2021-04-11
UHF RFID 无源电子标签芯片
成果与项目的背景及主要用途: RFID是射频识别技术的英文(Radio FrequencyIdentification)的缩写,射频识别技术是 20 世纪 90 年代开始兴起的一种自动识别技术,射频识别技术是一项利用射频信号通过空间耦合(交变磁场或电磁场)实现无接触信息传递并通过所传递的信息达到识别目的的技术。RFID 系统通过射频信号自动识别目标对象并获取相关数据,识别工作无须人工干预。作为条形码的无线版本,RFID 技术具有条形码所不具备的防水、防磁、耐高温、使用寿命长、读取距离大、标签上数据可以加密、存储数据容量更大、存储信息更改自如等优点,已经被世界公认为本世纪十大重要技术之一,在生产、零售、物流、交通等各个行业等各个行业有着广阔的应用前景。 本项目主要研发了基于 ISO18000-6B 协议的无源电子标签芯片,其可用于物流,货品识别,高速公路收费等诸多领域,是目前国内外射频电路研究领域的热点。 技术原理与工艺流程简介:UHF 频段的无源电子标签工作原理如下:通过标签上外置的偶极子天线接收读卡器发送的载波信号,并将其转换为直流信号,为整个芯片供电;同时片上的解调模块解调出经调制的载波信号所携带的数据信息,并传递给片上的基带部分加以处理;基带部分连同 EEPROM 部分一起完成数据的读写和控制功能,再由调制模块以反向发射的形式将上行信号返回给读卡器完成一次通信。 本设计的工艺流程是基于 Chartered 0.35um EEPROM 数字工艺,从芯片设计、仿真、版图验证。最终通过代工厂完成芯片制作。技术水平及专利与获奖情况:根据测试结构表明,各项指标都达到了商用需求,在国内属领先水平。该项成果已获得国家知识产权局颁发的集成电路布图登记证书。BS.06500285.7 应用前景分析及效益预测:目前国内的 UHF 频段的 RFID 产品正处于高速成长期,需求量快速增长,但大多数核心技术需要依赖进口。如果本项目能够实现技术转产,可以预计的前景和经济效益是相当可观的。有了自主知识产权的 UHF频段电子标签,在很多领域都可以加以移植,取代进口产品不但可以大大节省开支,同时也可以实现产品的自我定制及更新,最大程度的方便了国内用户的应用。 应用领域:货品跟踪和识别(代替条形码)、高速移动物体的识别、防伪认证以及电子支付等领域都会有广泛的应用。 技术转化条件(包括:原料、设备、厂房面积的要求及投资规模):四十平方米以上的办公用房,电脑、工作站若干,相应软件。也可以和 RFID天线制造单位,卡片封装单位共同合作,将成果转产。 合作方式及条件:面谈。
天津大学 2021-04-11
一种利用激光测量透镜曲率半径的方法及其装置
该研究成果基于发明专利 “ 一种利用激光测量透镜曲率半径的方法及其装置 ” (专利号: CN201010581799.X )。设计了一种利用激光测量透镜曲率半径的方法及测量装置,用该方法及相应的测量装置替代传统的钠光牛顿仪测量方法和装置,避免了待测平凸透镜的应力变形,解决了传统钠光牛顿环仪应力变形对测量精度的影响问题。装置相对于已有装置结构更为简单,经实验测试,测量重复性好,测量精度高。
西安科技大学 2021-04-13
大功率LED全自动透镜塑封压模成型机
目前,国内进行压模封装透镜成型中的压模封装,普遍采用人工进行操作。上下料、注胶、透镜封装、压模成型等工序不仅需要可观的人工成本,而且生产效率低,产品质量难于保障。华南理工大学胡跃明团队为改变这一现状,围绕国家产业迫切需求,在广东省新兴战略产业LED重大专项支持下,自主发明和研制了系列全自动透镜塑封压模成型(Molding)机,填补了国内在该高端制造领域的空白,实现了全自动上下料、全自动高精度注胶、全自动透镜成型、全自动压模封装等功能,单台机器单模组可达到50个人工半自动化工艺产能。
华南理工大学 2021-04-14
土贝母皂甙栓塞微囊土贝母皂甙栓塞微囊
成分:从土贝母中提取分离的土贝母皂甙主治:主要用于治疗各种时提瘤有栓塞指征的病人效果:抗肿瘤中药栓塞剂有较好的抗肿瘤作用。临床应用于肿瘤患者术前栓塞肿瘤血管、阻断血供、杀伤肿瘤细胞并能提高机体免疫力。特别对无手术指征的患者,采用栓塞疗法可提高患者的生存质量和生存时间。土贝母皂甙具有抗病毒、抗肿瘤作用,并能提高机体免疫力。在此基础上制备成栓塞剂,具有双重的治
西安交通大学 2021-01-12
微流体脉冲喷射仪及配套微流体器件制备仪
微流体数字化技术通过对裸结构的微喷嘴实施脉冲的惯性力,使微量流体在惯性力与黏性力交替作用下实现微流体的脉冲流动,从而实现数字化可控的微量流体的喷射,适用于液体微喷射、粉体微喷射等领域。 成熟度:基于非晶态玻璃材料毛细加工原理,进行了拉制、锻制、残余应力热处理等工序研究,制作了出微纳米级的微喷嘴、微管道。以玻璃微喷嘴制备仪为平台研究了不同拉制参数、锻制参数对微喷嘴几何形状的影响规律。基于微流体脉冲驱动-控制技术,分别采用拉制、锻制的微喷嘴稳定地制备了均一的微液滴。 微流体
南京理工大学 2021-04-14
光流传感阵列实现的光斑追踪智能平板数据
随着信息技术的发展,平板电脑已经得到了普及,但是平板电脑的性能尤其是触摸屏幕的性能仍待改 进。新装置:具有自主知识产权的光点追踪智能板
中山大学 2021-04-10
一种碳微电极阵列结构的制备方法
本发明属于碳微机电技术领域,为一种碳微电极阵列结构的制备方法 。 其步骤包括 <img file="2012101868347100004dest_path_image002. GIF" wi="16" he="24" />光刻步骤,得到阵列的碳微结构部分;<img file="dest_path_image004.GIF" wi="20" he="42" />沉积金属步骤:在所得到的碳微结构表面沉积一层或多层金属层;<imgfile="dest_path_image006.GIF" wi="20" he="42" />热解步骤:在惰性气体氛围或惰性混合气体氛围环境下,在不同的温度下进行多步热解;通过上述步骤,即可生长得到表面集成碳纳米结构的碳微电极阵列结构。本发明将厚胶光刻、金属沉积和热解相结合,得到的微纳集成结构拥有较大的比表面积,本发明的方法运用于微机电系统中,具有工艺简便,成本低廉、可控性高、可大批量生长、结构优良等特点,得到的微纳集成结构具有良好的电学性能,故可作为电机,在微型电池、微型电化学传感器等微机领域中会有较广泛的应用。
华中科技大学 2021-04-11
多阵列忆阻器存算一体系统
随着人工智能、大数据、物联网、区块链等新一代信息技术兴起,数据量呈现爆炸式增长,传统计算系统的算力难以满足海量数据的计算需求。与此同时,摩尔定律逐渐放缓,单纯依靠提高集成度、缩小晶体管尺寸来提升芯片及系统性能的路径正面临技术极限,通过引入忆阻器新器件、模拟计算新范式、存算一体新架构,将拓展出全新的高性能人工智能芯片与系统,实现计算能力的飞跃。 目前被广泛使用的经典冯·诺依曼计算架构下数据存储与处理是分离的,存储器与处理器之间通过数据总线进行数据传输,在面向大数据分析等应用场景中,这种计算架构已成为高性能低功耗计算系统的主要瓶颈之一:数据总线的有限带宽严重制约了处理器的性能与效率,且存储器与处理器之间存在严重性能不匹配问题。忆阻器存算一体系统把传统以计算为中心的架构转变为以数据为中心的架构,其直接利用阻变器件进行数据存储与处理,通过将器件组织成为交叉阵列形式,实现存算一体的矩阵向量乘计算。忆阻器存算一体系统可以避免数据在存储和计算中反复搬移带来的时间和能量开销,消除了传统计算系统中的“存储墙”与“功耗墙”问题,可以高效、并行的完成基础的矩阵向量乘计算,未来极有潜力成为支撑人工智能等新兴应用的核心技术。 清华大学吴华强教授团队实现了材料与器件、电路设计、架构和算法的软硬件协同等多方面原始创新,解决了系统精度损失等被广泛关注的难题: 材料与器件创新。科研团队选择了电学特性稳定的二氧化铪作为忆阻层核心材料,提出了通过插入少量氧化铝层来固定离子分布、抑制晶粒间界形成的新理论,提出了引入热增强层的新原理器件结构,成功抑制了忆阻器非理想特性的产生。 电路设计创新。开发了一套忆阻器与晶体管的混合电路设计方法,提出“差分电阻”设计思想,采取源线电流镜限流设计,抑制了忆阻器电路中可能产生的各种计算误差。 算法创新。提出了混合训练算法,仅用小数据量训练神经网络并只更新最后一层网络的权重,即可将存算一体硬件系统的计算精度达到与软件理论值相同的水平。 “技术链”创新。从“单点技术突破”拓展到“技术链突破”,开发了针对忆阻器存算一体芯片的电子设计自动化(EDA)工具,打通了从电路模块设计到系统综合再到芯片验证的设计全流程。 上述理论和方法发表于《自然》《自然·纳米技术》《自然·通讯》等国际顶级期刊,以及被誉为“集成电路奥林匹克”的“国际固态电路大会”等顶级学术会议。研究成果被“国际半导体技术路线图”和30多部综述文章长篇幅引用。团队已在该研究方向申请国内外专利72项,其中30项已获得授权,知识产权完全自主可控。 团队已研制出全球首款忆阻器存算一体芯片和系统,集成了8个忆阻器阵列和完整的外围控制电路,以更小的功耗和更低的硬件成本大幅提升了计算设备的算力。全系统的计算能效比当前主流的人工智能计算平台——图形处理器(GPU)高两个数量级。团队还设计了一款基于130nm工艺研制的完整忆阻器存算一体芯片,在MNIST数据集上计算速度已超过市面上28nm工艺的四核CPU产品近20倍,能效有近千倍的优势。
清华大学 2021-02-01
多阵列忆阻器存算一体系统
项目成果/简介:随着人工智能、大数据、物联网、区块链等新一代信息技术兴起,数据量呈现爆炸式增长,传统计算系统的算力难以满足海量数据的计算需求。与此同时,摩尔定律逐渐放缓,单纯依靠提高集成度、缩小晶体管尺寸来提升芯片及系统性能的路径正面临技术极限,通过引入忆阻器新器件、模拟计算新范式、存算一体新架构,将拓展出全新的高性能人工智能芯片与系统,实现计算能力的飞跃。
清华大学 2021-01-12
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