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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
微生物转化生产洛伐他汀中间体 R-J6 的关键技术
他汀类药物(statins)是一类羟甲基戊二酰辅酶 A (HMG-CoA)还原酶选择性抑制剂，能够降低血浆胆固醇和脂蛋白水平，是防治冠心病、脑中风、高血脂、动脉粥样硬化的首选用药。目前，工业化生产他汀类药物侧链关键中间体主要途径为化学合成法，此法反应步聚复杂，条件不易控制，所需手性试剂价格昂贵，污染严重，收率低。而酶法催化生产他汀类药物侧链关键中间体具有工艺简单、周期短、耗能低、专一性强、收率高、提取方便等优点，因而受到越来越多的关注。采用酶法合成瑞舒伐他汀钙侧链关键中间体，体现降耗环保的时代需求；采用非水相体系进行酶催化反应，解决了底物难溶的瓶颈问题。
江南大学
2021-04-11
一种基于单分子器件平台的单分子电学检测新方法和新技术
利用硅基单分子器件研究了分子马达水解的动力学过程，发现了无标记的电学检测方法观察到的分子马达的转动速度要比荧光标记的方法快一个数量级（ACS Nano 2018, 11, 12789）以苯环为骨架、芴基为核心的共轭分子，并在末端修饰上氨基，通过稳定的酰胺键将带有羰基官能团的功能分子连接在石墨烯电极之间，通过使用自主搭建的高速电学测试平台对化学反应进行了实时监测。大的共轭结构以及酰胺共价键的强耦合保证了分子具有良好的导电性；在化学反应进行的过程中，分子结构的变化将导致分子轨道发生改变，从而影响导电通道，影响器件的电导特性。
北京大学
2021-04-11
国家知识产权局 工业和信息化部关于知识产权助力专精特新中小企业创新发展若干措施的通知
为深入贯彻习近平总书记关于“着力在推动企业创新上下功夫，加强产权保护，激发涌现更多专精特新中小企业”的重要指示精神，全面落实党中央、国务院支持专精特新中小企业发展的决策部署，扎实推进中共中央、国务院印发的《知识产权强国建设纲要（2021—2035年）》和国务院印发的《“十四五”国家知识产权保护和运用规划》，工业和信息化部等19部门印发的《“十四五”促进中小企业发展规划》。
国家知识产权局
2022-10-25
专家报告荟萃⑫ | 石河子大学副校长杨兴全：整合创新要素，聚合创新平台，嵌合创新体系 支撑引领中国式现代化兵团实践
高校是教育、科技、人才的集中交汇点，必须深入实施科教兴国战略、人才强国战略、创新驱动发展战略，统筹推进教育、科技、人才体制机制一体化改革。
中国高等教育博览会
2025-01-03
专家报告荟萃⑬ | 重庆市玉带山小学校长邹红：心理健康教育大中小一体化协同育人 小学怎么做？
玉带山小学在心理健康教育方面进行创新实践，面对家庭教育缺失，借助互联网等手段试图弥补，同时通过音乐教育与心理咨询支持，有效帮助学生改善心理状态，体现了教育的温情与力量。实施心理健康教育系统性改进、优化师生关系、评价体系，及开展趣味活动，旨在构建健康积极的成长环境。
中国高等教育博览会
2025-01-08
国家铁路局 工业和信息化部 中国国家铁路集团有限公司关于支持新能源商品汽车铁路运输 服务新能源汽车产业发展的意见
为深入贯彻党的二十大精神，认真贯彻落实党中央、国务院关于加快构建新发展格局、着力推动高质量发展的决策部署，支持新能源商品汽车铁路运输，更好满足新能源汽车生产企业铁路运输需求，有效服务新能源汽车产业发展。
工业和信息化部
2023-01-31
长三角地区一体化发展三年行动计划（2024—2026年）发布！
为长三角未来三年工作重点明确了路线图和任务书，标志着长三角一体化发展向纵深推进。
上海市人民政府办公厅
2024-07-25
北京科研团队实现人工智能四维重建技术提升冷冻电镜分析精度
近日，北京市自然科学基金资助的重点研究专题项目“超高分辨冷冻电子显微镜成像方法研究与应用”取得重要进展。在该项目支持下，北京大学毛有东教授团队于2022年4月27日在国际顶级学术期刊Nature杂志在线发表了题为“USP14-regulated allostery of the human proteasome by time-resolved cryo-EM”的研究论文，阐明了原子水平人源蛋白酶体动力学调控和构象重编程机制，并在国际上首次展示了人工智能四维重建技术用于大幅提升时间分辨冷冻电镜分析精度。
北大科研
2022-05-11
浙江省科学技术厅关于 组织开展省级企业研发机构评价工作的通知
按照我厅工作部署，根据《浙江省高新技术企业研究开发中心建设与管理办法》《浙江省企业研究院建设与管理办法》《浙江省重点企业研究院建设与管理办法》（以下简称《管理办法》），经研究，决定对省级企业研发机构（以下简称“研发机构”）开展2022年度集中评价工作。现将有关事项通知如下。
浙江省科学技术厅
2023-07-17