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半导体光刻胶成膜树脂制备技术
1.痛点问题 光刻胶作为集成电路制备中不可或缺的一部分,已成为国家的战略资源之一。半导体光刻胶的核心在于成膜树脂,受限于研发难度大、专利壁垒高、资金投入多、准入门槛高,目前国内企业尚难以突破KrF胶(248nm)或ArF胶(193nm),而EUV胶完全不能自主供给。 2.解决方案 本项技术采用了国际最前沿的纳米氧化物团簇材料的工艺路线,可以实现单2nm小分子的光刻胶成膜树脂材料,攻克了材料合成和纳米材料提纯的难题,可满足目前半导体3nm制程节点的技术要求,RLS分辨率、边缘粗糙度、灵敏度三项关键性能指标优异,其曝光剂量远低于Intel公司提出的20mJ/cm2的成本线。此外,本项技术具有多种半导体光刻胶兼容性,可以生产248nm和193nm光源的半导体光刻胶成膜树脂,以及电子束半导体掩膜用光刻胶成膜树脂,具有广阔的技术替代优势和市场应用前景。 3.合作需求 本项技术已设立衍生企业,位于江苏常州的3000m2研发生产中心正在建设中。 1)融资需求:本轮天使轮融资6000万元。 2)资源对接需求:集成电路芯片制造、掩膜板生产企业,地方政府等。
清华大学 2022-07-12
均匀土壤中矩形地网接地导体布置方法
本成果为授权发明专利(201010238818.9)。该发明公开了一种均匀土壤中矩形地网接地导体不同间距布置方法,该方法主要是根据地网设计所需的地网网孔数确定接地网均压导体优化后的导体位置。该方法可以快速准确的计算接触电压分布、跨步电压分布优化后矩形地网中任意根数接地导体的位置。该方法不仅计算方便,且适用范围广。该专利对于接地系统的优化设计具有国际先进水平,自主可控,填补了矩形地网中接地导体非等间距布置方法的空白,在保证地网安全性能的同时节约金属材料,有着有广阔的应用领域。
西南交通大学 2016-06-27
半导体集成电路生产工艺监测设备
CSM4A系列多功能C-V测试系统,经国家“七五”、“八五”两届重点科技攻关,已在我校研制成功,并被多个半导体集成电路生产厂家和研究所使用。该项目由陈光遂教授主持完成。原电子工业部鉴定认为:该C-V测试系统具备八项测试功能,数据可靠,实用性强,人机界面良好。总体水平已达到九十年代国际先进水平,并有独创性,可以替代进口设备。主要测试功能有:MOS高频CV,M
西安交通大学 2021-01-12
酰亚胺基有机半导体领域取得重要进展
NDI聚合物现已经成为最成功的N-型高分子半导体,取得了极其优异的晶体管性能并保持着多项全聚合物电池的效率记录。郭旭岗同时深入研究了酰亚胺单体家族的另外一个重要成员:双噻吩酰亚胺(Bithiophene imide, BTI),并构建了一系列基于BTI的聚合物半导体(J. Am. Chem. Soc. 2011,133,1405;J. Am. Chem. Soc. 2012,134, 18427;Adv. Mater. 2012,24, 2242; Nature Photonics 2013,7,825;J. Am. Chem. Soc. 2014,136,16345;J. Am. Chem. Soc. 2015,137,12565)。与NDI和PDI相比,BTI具有更高的化学活性和大幅度减小的位阻,从而提供了一个前所未有的机会对其结构进行拓展优化。在前期工作中,郭旭岗团队利用稠环策略成功合成了一系列(半)梯型有机半导体,并在晶体管和全聚合物电池中取得了可比于NDI和PDI聚合物的器件性能(Angew. Chem. Int. Ed. 2017, 56, 9924; Angew. Chem. Int. Ed. 2017, 56, 15304; J. Am. Chem. Soc. 2018,140,6095.)。但是,噻吩相对于苯环更富有电子,在一定程度上减弱了半导体的电子亲和力。因此通过拉电子基团功能化BTI不仅会产生更强的电子受体单体,同时还能解决NDI和PDI结构上的缺陷。基于此,郭旭岗团队克服了合成上的挑战,成功制备出新颖的氟取代的酰亚胺及其聚合物半导体。理论计算表明,相对于没有氟的单体f-BTI2,氟取代的单体f-FBTI2表现出更低的能级,有助于提升聚合物的N-型性能。 相比于f-BTI2-T和之前报道的s-BTI2-FT和f-BTI2-FT的全聚合物电池,以f-FBTI2-F为电子受体材料的电池实现了性能的巨大提升,能量转化效率达到8.1%(图2),同时实现了高达1.05V的开路电压值和低至0.53eV的能量损失。与NDI和PDI有着不同的结构和电子特性的新型受体单体f-FBTI2的出现将衍生出更多高性能N-型聚合物,为发展高效的全聚合物电池提供了全新的材料体系。
南方科技大学 2021-04-13
高温超导体电阻转变温度测量仪
1.测量R-T主机一台(主要完成温度的测量和电阻测量,以及为样品提供电流的恒流源) 2.测量X-T用主机一台(主要完成温度的测量和显示,磁化率的测量和显示) 3.测量实验台架一套(测量零电阻和磁化率共用) 4.测温传感器(PT100) 5.低温杜瓦(内径φ120×80)
长春市长城教学仪器有限公司 2021-02-01
浙江博蓝特半导体科技股份有限公司研发第三代半导体材料
浙江博蓝特半导体科技股份有限公司致力于以碳化硅为主的第三代半导体材料研究项目,围绕碳化硅晶体生长技术及碳化硅衬底加工技术进行研发及产业化。公司优势:国家高新技术企业,拥有省级企业研究院、省级高新技术研发中心、省级企业技术中心、院士工作站等研发平台,并与浙江师范大学、湖南大学、中科院宁波材料所分别建立联合实验室,致力于第三代半导体材料的研发及产业化。点击上方按钮联系科转云平台进行沟通对接!
中国科学院大学 2021-04-10
超重力场下制备复合陶瓷涂层技术
一种在超重力场中制备纳米和纳米复合陶瓷涂层的方法,涉及纳米复合陶瓷材料的制备。将制备好的复合陶瓷涂层的溶液注入离心装置,离心桶的转速逐渐调到1000~20000转/分钟,保持1~100分钟,之后在稳定的转速下,逐渐分级提高加热炉的温度到200~1000℃,保温10~600分钟,接着冷却到室温。通过在离心装置中产生的超重力场,使溶液中的胶粒、化学沉淀物,以及陶瓷粉、陶瓷纤维、金属粉、金属纤维受到一个与基体表面垂直的力,挤压到样品表面,并通过温度逐渐上升,使溶剂挥发掉,沉积物发生热解、氧化、烧结等过程,从而形成结构、成分和厚度可控,且结构致密的纳米陶瓷涂层,以及纳米陶瓷与微米的陶瓷粉、陶瓷纤维等复合的各种陶瓷涂层。金属管内制备出Al2O3-SiO2纳米-微米复合陶瓷涂层、Al2O3纤维-SiO2复合陶瓷涂层,在平面材料表面制备出多种纳米-微米复合、陶瓷纤维复合的各种厚度可控的陶瓷涂层。
北京科技大学 2021-04-11
医疗器械高效抗凝、抗菌、润滑涂层技术
成果内容:用仿细胞膜结构聚合物涂覆改性生物材料及器件可得到优异的血液相容性及组织相容性。研发的仿生涂层构建技术可简便地用于多种医疗管路、导管及器械表面改性,显著降低蛋白质吸附达90%、细菌粘附99%、凝血及补体激活均减少80%以上。相关研究连续获得6项国家自然科学基金项目资助;获授权发明专利20项;关键技术通过陕西省技术成果鉴定,发明的仿细胞膜结构聚合物涂层的构建及调控技术国际领先。 成果用途: (1)仿细胞膜人工肺(高端产品)。血液蛋白质吸附减少90%,血小板粘附减少96%,凝血及补体激活均减少80%以上。抗血栓形成时间延长10倍。 (2)对血液透析器涂覆改性后可获得具有仿细胞膜涂层的血液透析器。可以显著降低对血液蛋白质吸附、血小板粘、凝血及补体激活等不良反应,从而大大降低病人在血液透析过程中出现瘙痒、头晕、恶心、呕吐、不宁腿综合征等过敏性不适症。 (3)将仿细胞膜结构聚合物涂层构建在导尿管、人造血管等管路内、外表面,可获得高效抗菌、抗凝、润滑等性能优异的医用导管。 成果成熟度:中试产品阶段(已解决关键技术,需要合作进行产业化攻关) 转化方式:技术转让、合作开发 成果授权情况 专利号 专利名称 专利状态 ZL201110203771.7 利用RAFT聚合技术在材料表面构建仿细胞外层膜结构涂层的方法 授权 ZL201110205373.9 仿贻贝粘附蛋白和细胞膜结构共聚物及其制备方法和应用 授权 ZL200910219143.0 一种仿细胞外层膜结构修饰涂层制备的方法 授权 ZL201310469385.1 一种通过聚多巴胺涂层构建功能化表界面的方法 授权 ZL201510013872.6 含磷酰胆碱和聚乙二醇的功能聚合物及其抗污涂层的构建方法 授权 ZL201610120275.8 功能型仿细胞外层膜立体结构涂层的构建方法 授权 ZL201510014112.7 贻贝粘附和细胞膜抗污双仿生多臂PEG及其制备方法 授权 ZL201910027531.2 一种仿生聚合物及制作耐久性双仿生聚合物涂层的方法及应用 授权 202011156925.7 一种两性离子聚合物与肝素复合涂层和制备方法及其应用 受理 202010000137.2 一种交联稳定聚合物刷涂层的构建方法 受理  
西北大学 2021-05-11
强化阻垢耐蚀涂层及高效冷凝器
在炼油、石油化工生产过程中,换热器不仅是保证生产过程正常运转不可缺少的设备,而 且是回收生产过程中存在的大量余热并加以充分利用的重要设备。 调查显示90%以上的换热器存在污垢问题,在工业生产过程中由于污垢造成的浪费和损失 非常严重。在美国和英国等工业发达国家,污垢造成的总损失约占国内生产总值的0.25%。污 垢是在与流体相接触的过程中,固体表面上逐渐积聚起来的一层固态或软泥状物质。污垢会降 低换热设备运行效率,加大换热设备的功率消耗。换热器结垢后,不但造成换热器能力下降, 装置能耗增加,还导致换热器运转周缩短,严重时将造成装置加工能力下降甚至导致非计划停 工检修,影响装置的安全稳定长周期运行。 表面工程技术通过改变材料表面的特性,可以有效强化冷凝传热和防治污垢在传热表面的 沉积。因此,解决换热设备,尤其是伴有相变传热的冷凝器等的结垢和传热强化问题,在日益 强调节能降耗的今天,具有特别重要的意义。相对于其他诸如添加功能化学品、采用流化床、 施加物理场等方法,表面工程技术方法具有更宽的适用范围。 华东理工大学针对在用涂层热阻高、寿命短等问题,开发出纳米强化复合镍基金属涂层, 强化了涂层的阻垢耐蚀性能,并有很好的强化冷凝性能,并应用到焦化装置的富胺液加热器, 节能效果显著。
华东理工大学 2021-04-11
轻合金上耐磨涂层的硬质阳极氧化技术
本项目针对实际生产中存在的铝合金机匣变色、耐磨性不够高等困扰企业多 年的技术难题,经过工艺改进和优化,开发出了纳米尺度阳极氧化新技术,解决 了铝合金机匣变色的技术难题。近5年来,采用纳米阳极氧化新技术处理的铝合 金机匣40余万件,产生直接经济效益1200万元,每年节约成本200万元。同时, 在节能排放方面产生了巨大的社会效益。
重庆大学 2021-04-11
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