本发明涉及一种六自由度磁浮微动台，包括布置在微动台动子基板的两自由度电磁力驱动单元，驱动微动台实现 X、Y、Z、θ_x、θ_y、θ_z6 个自由度的运动。每个两自由度电磁力驱动单元包括粘接永磁体、竖直向、水平环绕线圈，粘接永磁体由三块磁化方向不同的永磁体粘接而成，固定在正方形托盘底部；竖直向线圈提供垂向力，水平环绕线圈提供水平力，二者都固定在定子上。本发明线圈部分磁通密度大，磁感线方向、电流方向、目标推力方向相互正交，使其在单位电流下获得较大推力，由电磁力直接驱动，不存在机械摩擦，具有较高的位移分辨率，而且结构简单、紧凑，易于安装调试，可用于在微米行程实现纳米级定位的超精密加工和半导体制造中。

产品详细介绍:三维微动并联工作台（三自由度并联机器人）　采用闭环压电陶瓷驱动，压电陶瓷既作为驱动元件又作为支撑杆件，同时实现机构、驱动、检测一体化的新型3-RPS 微动并联机器人。通过压电陶瓷直接驱动柔性铰链机构实现绕X、Y方向的转动和Z方向的平动。X、Y方向的转角可达±0.8毫弧度，转角分辨率可达0.8微弧度；Z方向位移可达40微米，位移分辨率可达4纳米。主要应用于空间、隔震、医疗、光学和工业等领域。

产品详细介绍：低热膨胀二维光学微动工作台采用因瓦合金作为机体材料，使得微动工作台的热膨胀系数极低。该产品具有采用传统材料工作台性能的前提下，在外界环境的波动下其位移输出近似恒定。并可集成电阻应变片式传感器以实现高精度闭环控制。主要应用于精密光学等在一定的环境温度要求下尺寸近似恒定的元器件中。 

由于现有精密控制光栅位移的装置结构复杂，成本较高，本技术是提 供一种投影栅相移微动装置，它采用步进电机获得均匀步长，原理简单， 容易实现，价格低廉。 该技术特征是：步进电机上连有联轴器，联轴器连接丝杆，步进电机 转动时会带动丝杆转动；投影光路系统与正弦光栅移动方向垂直，高亮度 发光二级管产生的白光经过反光镜反光，再经非球面聚光镜变为平行光， 照射到正弦光栅上，正弦栅像经过出射透镜组照射到被测物体上。 本

本发明公开了一种三自由度超精密微动工作台，该工作台 X、Y和θ方向的运动由四个垂直布置在微动台外框架和内框架的直线电机提供，直线电机的动子安装在外框架的内侧，直线电机定子安装在内框架外侧。外框架由安装在外框架底部四角的四个圆形气浮轴承实现垂直方向的支承，内框架分别由环形气浮轴承和圆形真空预紧吸盘实现垂向的支承。微动台的位置信息由垂直安装在载物平台上的第一、第二平面配合激光干涉仪测量。本发明所提出的一种三自由度超精密微动工作台可实现大负载、大惯量、高精度的运动，该平台 X 和 Y 向的行程为 2mm，

本发明属于重力补偿结构相关技术领域，其公开了一种低刚度 的磁悬浮重力补偿器，其包括动子结构及定子结构，动子结构包括外 永磁阵列环、内永磁阵列环及动子支撑框架，外永磁阵列环及内永磁 阵列环分别设置在动子支撑架的环形槽相对的两个侧壁上，内永磁阵 列环的厚度大于外永磁阵列环的厚度;定子结构包括收容于环形槽内 的线圈支架及嵌设在线圈支架上的定子永磁环，所述定子永磁环的高 度大于厚度，定子永磁环与内永磁阵列环的间距小于定子永磁环与外 永磁阵列环的间距。本发明还提供了具有上述的磁悬浮重力补偿器的 微动台结构。本

自西南交通大学在2000年底成功开发出世界首辆高温超导磁浮试验车以来，国际上有关高温超导磁浮车的研究取得了显著的进展。继我们之后，俄罗斯莫斯科航天研究所在2003年底开发出可以乘载两人的高温超导磁浮车。尽管该车没有装备驱动系统，但其高度的稳定悬浮、较大的悬浮气隙（-40cm）、简洁的轨道设计展示了人们在高温超导磁浮技术的应用开发上又取得了显著的进步。2004年中期，德国的德累斯顿固体物理研究所开发出低速高温超导磁浮车。该车采用短定异步感应电机驱动、实现了车载控制驱动一体化，展示了便捷的、个性化的超导磁浮交通系统的美好前景。尽管如此，西南交通大学的高温超导磁浮车的研究仍然在整体上处于领先地位。为了不断推进和深化高温超导磁浮车的基础研究和技术开发，西南交通大学超导研究开发中心将在近期开展以下几个方面研究，为其工程化奠定基础：1）超导磁浮车的岔道技术研究 高温超导磁浮车要走向应用，岔道技术是关键技术之一。由于高温超导车将主要用于高速交通，安全、高效的岔道和转轨技术不仅显得尤为重要，并有着高温超导磁浮系统的独特性。我们将采用水磁、电磁相结合的方法，探索和开发出新型的、经济的、高效率的高温超导磁浮车的岔道技术。2）高温超导磁浮车的导向纠偏技术 高温超导磁浮车与常民电磁悬浮车的一大区别是高温超导磁浮车具有自稳定和自导向性，从而有可能省略复杂的控制系统。然而，在某些运行条件下，磁浮车的导向一旦出现偏离自稳定的范围，将产生严重后果。开发出适合高温超导磁浮车的导向纠偏技术,实现高温超导磁浮车工程应用的重要技术。3) 导磁浮系统动力学 在过去的三年多时间里，高温超导磁浮车在低速下的稳定运行已经得到了充分的检验。然而，在高速和超高速状态下的运行稳定性却缺乏充分的理论基础和实验依据。为此，我们将采用理论研究和实验模拟相结合的方法，研究高温超导磁浮系统在高速运动和强冲击下动力学稳定性，为开展高温超导磁浮车的中试试验提供理论和技术指导。4) 导磁浮系统中超导材料的电磁动力学特性 高温超导磁浮车的性能主要取决于高温超导大块材料的性能，提高超导材料的性能是提高高温超导磁浮车的安全性、降低制造和运行成本、提高其效能最为关键的问是。此外，研究在高速运动、高强度冲击下高温超导磁浮系统中超导材料的电磁稳定性也是实现其工程化的关键头号是。在改善材料性能的同时，我们将研究高温超导磁浮材料的交流损耗、钉扎稳定性和热稳定性，为高温超导磁浮车的工程设计提供可靠依据。

本发明公开了一种磁浮车辆防点头连接装置，包括左上连接件1、左橡胶堆座2、右橡胶堆座3和右上连接件4，在左上连接件1的垂直方向设有上下两个带有与悬浮架匹配的安装通孔5的凸台11，左上连接件1通过螺栓9与左橡胶堆座2连接；右上连接件4通过螺栓10与右橡胶堆座3连接，右上连接件4的垂直方向设有带有与悬浮架匹配的安装通孔6的凸台13；通过螺栓7将左橡胶堆座2和右橡胶堆座3连接，其间设有橡胶垫片8。本发明使得相邻的悬浮架的点头得到相互的遏制，适用于具有走形机构的磁悬浮车辆、高速列车、地铁轻轨等轨道车辆。

本成果来自重大应用前景的横向项目，研制的时速140公里中低速磁浮列车目前正在开展试验车线路试验。研制的中低速磁浮列车在最大运用速度（不低于140公里/小时）、最小曲线通过能力（R50m曲线轨道）、爬坡能力（10%坡度）等技术指标上具备世界领先水平。它能够以一种制式同时满足140公里/小时以下城市中等运量客运需求，实现城区—城郊快捷连通。目前，正开展中低速磁浮列车的工程化设计，第一列工程化磁浮列车预计将于2017年5月底研制成功。

产品详细介绍：Z轴旋转微动平台是由压电陶瓷致动器驱动柔性铰链机构可实现Z轴旋转输出，输出转角为毫弧度级别，输出转角分辨率为微弧度级别。并可集成电阻应变片式传感器以实现高精度闭环控制。主要应用于光学、激光扫描、通信、光束偏转和光束偏摆。