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一种可调谐宽波段激光等离子体极紫外光源
本发明公开了一种可调谐宽波段激光等离子体极紫外光源。包 括脉冲激光器以及设置在真空腔中的反射镜、聚焦透镜、镓铟锡合金 靶材和收集镜；工作时，所述脉冲激光器发出的激光被所述反射镜反 射后到达所述聚焦透镜，在所述镓铟锡合金靶材的液面上形成聚焦光 斑，激发所述镓铟锡合金靶材产生等离子体，等离子体辐射产生极紫 外光，极紫外光被所述收集镜收集后用作测试光源。产生的极紫外光 在 13.X-nm 和 6.X-nm 波段均有较强辐射
华中科技大学
2021-04-14
光机热一体化设计技术（技术）
成果简介：在航空航天领域，光电仪器受温度影响会产生像移，成像质量会 变差，影响探测。本技术将光学设计、结构设计、有限元分析、光学表面自由曲面面型拟合结合起来，可以分析在恒温和瞬态温度变化的情况下，成像 质量的变化，进而给温控提供准确的技术方案和技术途径。 项目来源：横向项目 技术领域：信息技术 应用范围：航空航天光电探测领域 现状特点：国内领先 技术创新： 本技术将光学设计、结构设计、有限元分析、光
北京理工大学
2021-04-14
高频辉光放电等离子体化学气相沉积（PECVD）装置
PECVD（plasma enhanced chemical vapor deposition）—等离子体化学气相沉积，在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子，提供化学气相沉积过程所需的激活能，相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1）自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号；2）可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境，且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3）专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构，可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构，可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4）该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计，符合产品要求。
北京交通大学
2021-04-13
面向工业废气 VOCs 治理的低温等离子体发生装置
成果简介：面向工业废气 VOCs 治理的低温等离子体产生 装置是工业废气 VOCs 治理的关键装置，该装置能够产生破坏 VOCs 的高能电子、原子氧等活性粒子，对通过低温等离子体 产生装置中的工业废气 VOCs 进行有效分解，特别适合大流量 的工业废气 VOCs 的治理要求。面向工业废气 VOCs 治理的低 温等离子体产生装置包括低温等离子体发生器和高频高压电 源，其中的低温等离子体
合肥工业大学
2021-04-14
高性能等离子体金属表面强化技术及装备
项目简介 渗氮渗碳强是广泛需要的技术，等离子渗氮渗碳强化零部件表面，环保、高效等， 但渗层不均、打弧等。本项目发明了一种交互式双阴极等离子表面热处理装备，强化电场强度，
西华大学
2021-04-14
聚变等离子体中磁岛与湍流相互作用
项目简 介： 聚 变能源与化石能源相比对空气无任何污染，与 裂变能源比较不会产生较强的放射性污染。托克马克磁约聚变装置是使用磁场将高温等离子体约束在磁场空间内，实现热
西华大学
2021-04-14
便携式大气压空气 冷等离子体发生
大多数等离子体辉光放电需要使用惰性气体或者惰性气体和氧气的混合气体，或者需要外加气流来得到稳定的放电效果。传统上，如果用空气作为工作气体，放电形式为电弧，其温度很高。我们课题组近期发明一种便携式大气压空气等离子体发生器，是一种结构简单成本较低的便携式的大气压空气等离子体发生器，由于正电极内嵌于阻燃性绝缘介质容器，其不仅安全而且可以避免发生弧光放电。此便携式大气压空气等离子体发生器电离激发时，产生的冷等离子体辉光，人体可以触摸，可以处理任何材料（人体、金属、塑料等）。且此空气冷等离子体辉光均匀，富含多种活性成份，对杀菌、消毒及材料改性有显著作用，基于此开发的产品有很好的市场及经济价值。已申请专利：ZL201310002111.1（发明）和 ZL201320076075.9（实用新型）.
安徽理工大学
2021-04-13
一种可视化研究微波等离子体辅助点火的实验装置
本发明公开了一种可视化研究微波等离子体辅助点火的实验装 置，该装置包括：火花塞系统、微波系统、定容燃烧弹系统、光学摄 影系统及控制系统；所述控制系统发出三路存在特定相差的同步脉冲 信号，第一路脉冲信号触发所述火花塞系统产生脉冲高电压用于放电 击穿稀薄混合燃气形成初始等离子体团；第二路脉冲信号触发所述微 波系统产生特定频率及特定功率的微波脉冲向所述等离子体团中耦合 能量以扩大等离子体团实现点火；第三路脉冲信号触发所述光学系统 透过所述定容燃烧弹系统的石英窗聚焦于微波天线与高压电极中心开 始拍摄，记录所述实验的全过程。本发明的装置，保留了微波集成火 花塞的点火方式，能够真实的反映微波等离子体辅助点火的作用过程。
华中科技大学
2021-04-13
一种托卡马克等离子体破裂能量处理装置及处理方法
本发明公开了一种托卡马克等离子破裂能量处理装置及处理方 法，所述能量处理装置包括压敏电阻、脉冲电容单元、电阻单元、逆 变单元和控制单元；所述压敏电阻、脉冲电容单元、电阻单元依次并 联在直流母线的正极和负极之间，脉冲电容单元的正负极与直流母线 的正负极对应连接；所述逆变单元直流侧输入端的正极连接直流母线 的正极，直流侧输入端的负极连接直流母线的负极。本发明主要应用 于可控核聚变托卡马克等离子体破裂能量处理，具有储能、吸能、耗 能与能量回馈再利用的多重处理功能，可有效的吸收和处理由与等离 子体耦合的线圈
华中科技大学
2021-04-14
一种激光诱导液滴靶放电产生等离子体的装置
本发明提出一种激光诱导液滴锡靶放电产生等离子体极紫外光 源的装置，包括储锡池、旋转圆盘、锡液、温度控制器、阻拦屏、旋 转圆面屏、电极对和激光器等。该装置通过将旋转圆盘部分浸入液态 锡中，利用了高速圆周离心力作用产生逃逸的液态锡，阻拦屏和旋转 圆面屏的阻挡和选通作用，产生周期性的锡液滴，通过电极对，在激 光的作用下产生极紫外光。本装置通过让激光作用在的锡液滴而非作 用在电极上的液态锡膜上，解决了传统旋转放电圆盘电极液体
华中科技大学
2021-04-14