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一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁；在基板上形成介电质孔，使介电质孔和盲孔同轴；⑤在介电质孔上沉积一层导电材料，作为导电层，形成导电孔；⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层；⑦移除基板，在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；降低了寄生电容，提升了互连电性
华中科技大学
2021-04-14
一种新型弹性胀缩式内孔夹紧装置
本实用新型公开了一种新型弹性胀缩式内孔夹紧装置，包括贯穿有推杆的气缸，所述气缸缸头设置 有与推杆配合的伸缩爪，所述气缸内设置有第一活塞和第二活塞，第一活塞和第二活塞将气缸内腔分为 前腔室，中腔室，后腔室，其中前腔室位于气缸头部，所述前腔室和后腔室均与大气连通;所述推杆前 端沿轴线设置有多段上小下大的棱台状斜面，中部与第二活塞固定，尾端设置有与大气压连通的第二气 口，所述第二气口与中腔室连通;所述述
武汉大学
2021-04-14
一种单缸双活塞内孔用机械手
本发明提供一种单缸双活塞内孔用机械手，包括气缸、一级活塞(21)、二级活塞(22)和弹簧卡 爪(3)，所述的气缸包括缸体(11)、设置在气缸下端的端盖(12)和设置在缸体内壁的活塞导向套(13)， 所述的一级活塞(21)设置在缸体中部，所述的二级活塞(22)设置在缸体(11)下部，二级活塞(22) 上下端均设有活塞杆;本发明的气缸结构中，将传统的两级气缸结构简化为单缸双活塞结构，两个活塞 将气缸腔
武汉大学
2021-04-14
金属薄板海量群孔/群坑高效加工技术
成果简介在 21 世纪的航空航天、 电子、 仪器、 纺织、 印刷、 医疗器械和汽车等工业领域中， 以微小群孔/群坑为关键结构的零部件使用越来越广泛， 例如光纤连接器、 喷丝板、 电子显微光栅、 微喷嘴、 过滤网、 冷气导管、 印刷电路板、 摩擦副表面用于减磨的微细群坑结构等。 目前， 加工微小群孔的方法主要有： 机械加工、激光加工、 电火花加工、 掩膜电解加工和电子束加工。 但这些加工方式或多或少均存在着一些问题， 机械加工易产生内应力和毛刺； 激光加工效率高， 但其加工后的孔壁有再铸
安徽工业大学
2021-04-14
钢质深孔零件温 (热)挤压工艺及应用
技术原理及特点 ：本研究的应用领域为材料加工工程，特别是钢制件 的塑性加工。本研究针对凿岩机产品中同类零件最复杂的 “转动筒套体 ”， 从正、反挤压 2 方面开展了工艺试验与应用研究，成功开发了 “转动筒套 体”热挤压工艺。 本研究设计应用了一种 “分步脱模 ”机构，解决了经典的正挤压模具结 构存在的制件脱模难这一关键问题，正挤压分步脱模法为国内首创。 本研究在江西省内和凿岩机行业同类零件
南昌大学
2021-04-14
一种单楔式内孔抓紧机械手
本实用新型公开了一种单楔式内孔抓紧机械手，包括气缸和卡爪，气缸内设有第一活塞和第二活塞 将气缸内分为前腔室、中腔室和后腔室三个腔室，前腔室、中腔室和后腔室分别设有可通气的第一气口、 第二气口和第三气口，第一活塞和第二活塞之间的气缸内壁上设有限位块，第一活塞上设有可从气缸顶 部开口伸出的卡爪，第二活塞上设有可自由穿过第一活塞且从卡爪内伸出的活塞杆，活塞杆顶部设有棱 台，卡爪顶部设有弹性爪，弹性爪和棱
武汉大学
2021-04-14
纳米氮化钒及纳米碳氮化钒粉体的制备方法
本发明提供了一种纳米氮化钒及纳米碳氮化钒粉体的制备方法。其特征在于以粉状钒酸铵、碳质还原剂和微量稀土等催化剂为原料，按一定配比将它们溶于去离子水或蒸馏水中，并搅拌均匀，制得溶液。然后将该溶液加热、干燥，最后得到含有钒源和碳源的前驱体粉末。将前驱体粉末置于高温反应炉中，并通入还原气体作为反应和保护气体，于800～950℃、30～60min条件下，制得平均粒径＜100nm、粒度分布均匀的纳米氮化钒及纳米碳氮化钒粉体。本方法具有反应温度低、反应时间短、生产成本低、工艺简单等特点，适合工业化生产。
四川大学
2021-04-11
纳米金-纳米纤维功能复合物修饰电极的制备方法
本发明是一种纳米金/纳米纤维功能复合物修饰电极的制备方法，具体制备方法包括：1）纺丝溶液配制；2）静电纺丝制备复合纳米纤维，形成复合纳米纤维PA6-MCWNTs修饰电极；3）复合纳米纤维电沉积纳米金功能化。将复合纳米纤维PA6-MCWNTs修饰电极浸于含有HAuCl4的沉积液中，采用多电位阶跃法，将HAuCl4还原成纳米金并同步直接沉积在PA6-MCWNTs复合纳米纤维表面。本发明获得具有稳定性好、比表面积大、生物相容性良好、电子传递速率快、纳米直径孔径分布均匀等特点的功能复合物电极修饰材料。
东南大学
2021-04-13
基于静电纺丝纳米纤维的速溶速效给药纳米纤维膜
高压静电纺丝技术是一种自上而下 (top-down) 的纳米制造技术, 通过外加电场力克服喷头毛细管尖端液滴的液体表面张力和黏弹力而形成射流, 在静电斥力、库仑力和表面张力共同作用下，被雾化后的液体射流被高频弯曲、拉延、分裂，在几十毫秒内被牵伸千万倍，经溶剂挥发或熔体冷却在接收端得到纳米级纤维。该技术工艺过程简单、操控方便、选择材料范围广泛、可控性强、并且可以通过喷头设计制备具有微观结构特征的纳米纤维。 应用高压静电纺丝技术制备的纳米纤维膜，其表面积大、孔隙率高、并且具有三维立体连续网状结构等特征。结合聚合物基材的使用，电纺纳米纤维膜不仅仅可以有针对性地解决难溶药物溶解度问题，而且可以用于开发多种药物的速溶速效给药系统。可以根据用户需要进行各种药物速效给药系统的研制与开发
上海理工大学
2021-04-13
岩层变形光纤传感检测方法
本成果采用光纤Bragg光栅传感器进行岩层变形多点测试，在国内首次将光纤光栅技术应用于岩层应变变形实时监测，填补了国内、外将光纤光栅传感技术应用于该领域的空白。以光纤光栅单点和多点传感原理为基础，建立基于光纤光栅传感技术的岩石变形检测理论和方法，通过试件、相似模型实验和现场工程实践，建立光纤光栅传感器与岩体相互作用的光学—力学模型。设计了用于室内和现场岩层变形检测的光纤光栅传感器。研究适合于埋入岩体内部的光纤光栅应变传感器结构、测量方法及相应的光纤多介质应变传递理论。 本项目获得了两项国家自然科学基金项目的资助，曾获“陕西省教育厅科学技术二等奖”一项，中国煤炭工业协会“科学技术二等奖”一项。授权发明专利3项，实用新型专利1项。
西安科技大学
2021-04-11