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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学 2021-04-14
清华大学化学系王训团队利用无机亚纳米线有机凝胶锁定易挥发有机分子
近日,清华大学化学系王训教授课题组在无机亚纳米线研究方面取得了新突破,发现碱土金属-多酸团簇亚纳米线能够有效锁定包括正辛烷、汽油等在内的易挥发有机液体,形成自支撑的弹性凝胶。
清华大学 2022-10-12
中央教育工作领导小组秘书组、教育部党组印发通知,对教育系统深入学习宣传贯彻党的二十大精神作出部署安排
10月31日,中央教育工作领导小组秘书组、教育部党组根据中央统一部署,结合教育系统实际,印发《关于教育系统深入学习宣传贯彻党的二十大精神的通知》,就做好学习宣传贯彻党的二十大精神有关工作作出部署。
教育部新闻办 2022-11-01
【双百计划】2021-2022年度中国高等教育博览会“校企合作 双百计划” 第二组双走访活动圆满成功
为提升高校人才培养质量,推动教育与产业统筹融合,进一步推选2021-2022年度中国高等教育博览会“校企合作 双百计划”典型案例,中国高等教育学会于2022年3月19日开展了“双百计划”第二组双走访活动。
中国高等教育博览会 2022-03-25
Nature Methods|郝海平/叶慧团队发表有关环状亚胺离子示踪技术揭示人类蛋白质组存在丰富乳酰化修饰谱的研究论文
该工作针对乳酸是否可以直接共价修饰非组蛋白进而发挥生物学效应的科学问题,提出在公共的人类蛋白质组深度测序数据中搜索乳酰化修饰的新底物蛋白的策略。
中国药科大学 2022-07-11
西南大学地理科学学院樊磊教授课题组在近地表和根系土壤水分数据产品验证方面取得重要进展
近日,樊磊教授课题组以“Evaluation of satellite and reanalysis estimates of surface and root-zone soil moisture in croplands of Jiangsu Province,China”为题在遥感学领域顶级期刊Remote Sensing of Environment(IF=13.85)发表了关于我国江苏省近地表和根系土壤水分数据产品的最新验证结果。
西南大学 2022-10-14
基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法
一种基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法,利用图像采集装置自动巡天;自适应光照变化并躲避强光的直射,获取待检测区域的图像序列,利用序列图像之间的目标运动特性和单幅图像中的目标与背景的差异,自动检测无人机等低空飞行器,并通过对其卫星定位信道和遥控信道进行无线电干扰以实现无人机管制的目的
华中科技大学 2021-04-10
减噪保温墙体材料及其制备方法和减噪保温砌块及其制作方法
其他成果/n建筑材料技术领域,具体涉及一种减噪保温墙体材料及其制备方法和减噪保温砌块及其制作方法。该方法包括步骤:1)准备原料;2)将骨料、氧化石墨烯、水泥和硅灰混合,得到混合物A;3)向混合物A中依次加入减水剂、粘结剂、激发剂和水泥质量30~40%的水,搅拌混合,得混合浆料B;4)将作物秸秆制作成秸秆框架;5)将混合浆料B倒入模具中进行浇筑,并在浇筑过程中将步骤4)得到的秸秆框架放入到模具中,脱模后经过养护,即得。本发明主要原料为建筑垃圾,解决了建筑垃圾处置问题和废物资源化利用。秸秆与骨料间的空隙结构增长了声波传递的距离并多次折射,削弱了=声波的能量,具有良好的减噪作用。
武汉轻工大学 2021-04-11
一种牡蛎粉祛农残抗菌材料的制备方法与使用方法
本发明公开了一种牡蛎粉祛农残抗菌材料的制备方法与使用方法,其以牡蛎壳为原料通过二级阶梯式升温煅烧并辅以通风降温法制得熟料,熟料经磨机粉磨至粒径为50um以下的粉体,从而制得具有疏松多孔结构和高化学活性的牡蛎壳粉体;其用于祛农产品农药残留的使用方法简单、安全高效、无二次污染无产生。本发明相对于现有技术,具有成本低、节能绿色环保等特点,环保、使用安全、高效、适于各类水果和疏菜的净洗处理,可有效祛除附着在其表面上的农药成分残留,并杀灭大肠杆菌。
青岛大学 2021-04-13
基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法
本发明公开了一种基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法,利用图像采集装置自动巡天;自适应光照的变化并躲避强光的直射,获取待检测区域的图像序列,利用序列图像之间的目标运动特性和单幅图像中的目标与背景的差异,自动检测无人机等低空飞行器,并通过对其卫星定位信道和遥控信道进行无线电干扰以实现无人机管制的目的;本方法可对全天域进行监控,并在巡天过程中自动调整光学成像传感器的指向以避免被强光直射,可以实时自动学习环
华中科技大学 2021-04-14
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