制备结晶氮化碳薄膜的装置
1.项目简介:本设计了一种制备结晶氮化碳薄膜的装置,设有脉冲电弧放电的机构及电路,该电路由高压和电弧产生电路组成;该机构包括基板和与之相连的电加热器,设有半密封箱体,基板、电加热器和电极位于半密封箱体腔内,基板位于电极的下方或四周,设有2条带有控制阀的管道,分别通氮气和溶液,其下端深入半密封箱体腔内,通溶液的管道下端出口处于电极的上方。该装置能高效率、高质量地制备出结晶氮化碳薄膜,能方便地将结晶氮化碳薄膜涂层制备到管径较小的管道内壁,从而有利于结晶氮化碳薄膜的推广应用。项目已获实用国家新型专利权。2.技术特点:该发明解决了氮化碳薄膜低温常压沉积的困难,而且提供了能高效率、高质量地制备结晶氮化碳薄膜的方法及装置。与其它方法相比,该发明的显著特点是:在常压下合成的产品主要为结晶氮化碳薄膜;沉积速率快,在大气环境下产生稠密的含碳、氮等离子体,从而提高了生产效率,利于推广结晶氮化碳薄膜的应用。
武汉工程大学
2021-04-11