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一种超薄芯片的制备方法
本发明公开了一种超薄芯片的制备方法,具体为:首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域,再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄,对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片,最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了硅片,所以硅晶圆的机械强度仍然可以支持硅片进行后续的加工工艺,相对于传统的利用支撑基底来减薄芯片的方法,简化了工艺流程,降低了工艺成本。另外由于不需要用机械研磨工艺来进行减薄,所以不会因为机械研磨对硅晶圆造成的轻微震动而使厚度不能减得过小,通过本发明可以使芯片减薄到比机械研磨方法更薄的程度。
华中科技大学 2021-04-11
UHF RFID 无源电子标签芯片
成果与项目的背景及主要用途: RFID是射频识别技术的英文(Radio FrequencyIdentification)的缩写,射频识别技术是 20 世纪 90 年代开始兴起的一种自动识别技术,射频识别技术是一项利用射频信号通过空间耦合(交变磁场或电磁场)实现无接触信息传递并通过所传递的信息达到识别目的的技术。RFID 系统通过射频信号自动识别目标对象并获取相关数据,识别工作无须人工干预。作为条形码的无线版本,RFID 技术具有条形码所不具备的防水、防磁、耐高温、使用寿命长、读取距离大、标签上数据可以加密、存储数据容量更大、存储信息更改自如等优点,已经被世界公认为本世纪十大重要技术之一,在生产、零售、物流、交通等各个行业等各个行业有着广阔的应用前景。 本项目主要研发了基于 ISO18000-6B 协议的无源电子标签芯片,其可用于物流,货品识别,高速公路收费等诸多领域,是目前国内外射频电路研究领域的热点。 技术原理与工艺流程简介:UHF 频段的无源电子标签工作原理如下:通过标签上外置的偶极子天线接收读卡器发送的载波信号,并将其转换为直流信号,为整个芯片供电;同时片上的解调模块解调出经调制的载波信号所携带的数据信息,并传递给片上的基带部分加以处理;基带部分连同 EEPROM 部分一起完成数据的读写和控制功能,再由调制模块以反向发射的形式将上行信号返回给读卡器完成一次通信。 本设计的工艺流程是基于 Chartered 0.35um EEPROM 数字工艺,从芯片设计、仿真、版图验证。最终通过代工厂完成芯片制作。技术水平及专利与获奖情况:根据测试结构表明,各项指标都达到了商用需求,在国内属领先水平。该项成果已获得国家知识产权局颁发的集成电路布图登记证书。BS.06500285.7 应用前景分析及效益预测:目前国内的 UHF 频段的 RFID 产品正处于高速成长期,需求量快速增长,但大多数核心技术需要依赖进口。如果本项目能够实现技术转产,可以预计的前景和经济效益是相当可观的。有了自主知识产权的 UHF频段电子标签,在很多领域都可以加以移植,取代进口产品不但可以大大节省开支,同时也可以实现产品的自我定制及更新,最大程度的方便了国内用户的应用。 应用领域:货品跟踪和识别(代替条形码)、高速移动物体的识别、防伪认证以及电子支付等领域都会有广泛的应用。 技术转化条件(包括:原料、设备、厂房面积的要求及投资规模):四十平方米以上的办公用房,电脑、工作站若干,相应软件。也可以和 RFID天线制造单位,卡片封装单位共同合作,将成果转产。 合作方式及条件:面谈。
天津大学 2021-04-11
自锁连接装置及其在无人艇回收布放中的应用
本发明公开自锁连接装置,包括第一连接件、第二连接件和摇杆定位机构;第一连接件包括锥形凸台和定位槽,锥形凸台侧壁上设有卡孔;第二连接件设有与锥形凸台适配的锥形凹槽和与定位槽适配的定位销;摇杆定位机构包括直线杆和弧线杆;当锥形凸台插入锥形凹槽时,锥形凸台挤压直线杆,摇杆定位机构摆动使得弧线杆插入所述卡孔,定位销插入定位槽,此为自锁连接装置的锁紧状态;当定位销抽离定位槽,锥形凸台抽离锥形凹槽时,弧线杆与定位孔分离,为自锁连接装置的开放状态。本发明的自锁连接装置操作简单方便,对工作人员的技能以及环境要求低,可实现待锁定装置的快速准确锁定,且解除锁定方法简单,通用性强。
东南大学 2021-04-11
高能量、长寿命的水系可充放 镍铋电池
利用三维高结晶度的Bi纳米结构抵消储能转换反应引起的结构内应力,成功构筑了首款可充放的Ni//Bi电池(Adv. Mater., 2016, 28, 9188–9195.)。为了进一步提高镍铋电池的能量密度和寿命,该团队在前期基础上最近通过原位活化的策略制备了一种高载量的三维多孔的铋-碳复合材料,作为水系镍铋电池的高性能负极材料。这种多孔氮掺杂的碳三维结构不仅可以实现高载量铋的均匀负载,而且可以提供快速的电子传输和离子扩散的通道,有利于提高电极的容量和倍率性能。因此,制备的铋-碳复合电极具有很好的润湿性和活性面积,表现出较高的容量(2.11 mAh cm-2和166.2 mAh g-1)和优异的倍率性能(2.11 mAh cm-2和120 mA cm-2)。更重要的是,基于这种铋-碳复合材料为负极,Ni-NiO为正极组装的柔性镍铋水系可充放电池具有很高的能量密度(16.9 mWh cm-3)和出色的循环寿命(充放电5000次后仍有94%的容量保持率),优于很多研究报道的水系电池。
中山大学 2021-04-13
大型养殖场污物零排放及沼气制备新技术
研发阶段/n利用畜禽粪污与秸秆等作为发酵原料,采用序批式两相固态发酵制备沼气的工艺与装备,可以实现大中型养殖场的畜禽粪便、尿和冲洗水"零排放",同时能高效持续地产出沼气,且可将发酵后沼渣沼液开发成有机肥;发酵装备总体上由25套左右的发酵装置、行车运送装置、进料装置、出料装置、沼液输出装置、沼液回流装置和沼气收集装置等部分组成,可以便捷高效地实现养殖场废弃物的资源化利用。应用前景:既可用于万头以上规模的养猪场,也可用于其他类型的大型畜禽养殖场。以万头养猪场为例,整个系统建造成本约200万元,运行成本每
华中农业大学 2021-01-12
环己胺二环己胺生产近零排放
环己胺二环己胺生产近零排放技术2012年获江苏省科技厅产学研前瞻资助,2011年获南京市科技局资助。苯胺加氢为环己胺,尾气为H2与NH3混合气,该技术利用吸收-吸附联合分离技术分离循环氢气中的氨,提高苯胺转化率的同时实现气相零排放。将NH3从尾气中有效地分离,可获得高纯度H2用于再生产,分离的NH3以氨水的形式用于硫酸铵等肥料工业生产。
南京工业大学 2021-01-12
脱硫废水零排放与烟气脱重金属协同耦合技术
脱硫废水零排放和烟气脱重金属是燃烧烟气治理的两个新的热点方向。本技术将脱硫废水零排放与烟气脱重金属两个工艺过程相结合,通过协同作用,实现两者的有机耦合。本技术在将脱硫废水经过浓缩处理,喷洒到煤场或除尘器前的烟道中,通过高温蒸发实现脱硫废水零排放。同时利用废水干燥后的卤化物,促进烟气中汞、砷等重金属的价态转化,从而更容易实现在后续烟气净化设施中的同步脱除。
东南大学 2021-04-11
脱硫废水零排放与烟气脱重金属协同耦合技术
脱硫废水零排放和烟气脱重金属是燃烧烟气治理的两个新的热点方向。本技术将脱硫废水零排放与烟气脱重金属两个工艺过程相结合,通过协同作用,实现两者的有机耦合。 本技术在将脱硫废水经过浓缩处理,喷洒到煤场或除尘器前的烟道中,通过高温蒸发实现脱硫废水零排放。同时利用废水干燥后的卤化物,促进烟气中汞、砷等重金属的价态转化,从而更容易实现在后续烟气净化设施中的同步脱除。
东南大学 2021-04-13
一种脱硫废水零排放耦合调湿除尘增效系统
本实用新型涉及一种脱硫废水零排放耦合调湿除尘增效系统,包括顺次连通的脱硫塔、石膏脱水系统、废水旋流器、废水箱、旋转喷雾蒸发塔和除尘器,经石膏脱水系统处理后的废水经过废水旋流器处理后,一部分底流去脱硫塔重复利用,一部分溢流去废水箱收集,废水输送至旋转喷雾器进行雾化,雾化后的雾滴下行,与从空气预热器前接入的高温烟气逆行接触,蒸发后的废水中固体颗粒与烟气整体下行至旋转蒸发塔下部,经旋转蒸发塔出口烟道进入除尘器前烟道,废水以净化水蒸气的形式通过除尘器进入脱硫塔。本实用新型废水治理稳定性高,不受机组负荷影响,投资和运行费用低,节省水耗和能耗,实现废水零排放同时增加烟气湿度,提高除尘器除尘效率。
浙江大学 2021-04-13
燃煤电厂脱硫废水烟道喷雾蒸发结晶零排放技术
本技术采用烟道喷雾蒸发结晶技术实现脱硫废水零排放。通过水泵将废水喷入到空预器和除尘器之间的烟道中的雾化喷嘴进行雾化,在高温烟气的加热作用下,水分迅速蒸发成气相水蒸气随除尘后的烟气进入脱硫塔,在脱硫塔的喷淋冷却作用下,水分凝结进入脱硫塔的浆液循环系统被重复利用。废水中的污染物转化为结晶物或者盐类等微小的固体颗粒,随烟气中的飞灰一起被静电除尘器捕捉而从烟气中分离出来,从而除去污染物,实现废水的零排放。该技术的使用对电厂后续设备包括静电除尘器(ESP)、脱硫塔(FGD)都会带来有利的影响。
重庆大学 2021-04-14
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