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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 如何通过超洁净流控技术降低流控污染,减少曝光缺陷,提升曝光良率,是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战,直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外,作为各类半导体制造装备的共性核心零部件,超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断,使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统,自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持,聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术,完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试,为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据,同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化,突破了国外技术的封锁,为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学 2022-07-22
适用于具有功能梯度及拉胀属性的超材料的拓扑优化方法
本发明属于超材料设计相关技术领域,其公开了一种适用于具有功能梯度及拉胀属性的超材料的拓扑优化方法,其包括以下步骤:(1)采用加权法建立每层的、同时考虑微观结构拉胀属性及宏观结构刚度属性的多目标优化模型;(2)控制所述超材料结构整体在一个方向上的拉胀属性及刚度属性呈梯度形式分布;(3)计算每层设计域上的微观位移、宏观位移、以及每层微结构的等效弹性属性;(4)基于计算获得的敏度,采用优化准则法更新设计变量,进而判断所述目标函数是否收敛。上述拓扑优化方法采用加权法建立同时考虑微观结构拉胀属性及宏观结构刚度属性的多目标优化模型继而进行优化,使得优化后的超材料同时具备拉胀属性及足够的刚度。
华中科技大学 2021-04-14
La2O3-Al2O3热障涂层中稀土氧化物的作用及高温相稳定机理研究
本成果研究了不同制备工艺对制备出的喷涂粉末形貌与性能的影响,通过测试不同的La2O3的添加方式以及添加量的涂层的性能,探讨了稀土氧化物La2O3对Al2O3等离子涂层性能的影响,及La2O3在等离子涂层中的作用,同时对喷涂粉末与涂层的相态及高低温条件下的相稳定性进行了研究,找出了在高温下长时间保持相稳定性的涂层。得出的主要结论有: (1). 使用纳米粉体颗粒团聚的方法可以制备符合出符合等离子喷涂要求的粉末,同时其制备出的涂层性能优于传统微米级粉末涂层。 (2). 添加部分La2O3可以抑制Al2O3涂层中晶粒长大,且Al2O3- La2O3涂层更致密,与Al2O3涂层相比,Al2O3- La2O3涂层在抗击热冲击、抵抗热氧化、涂层结合强度方面均有部分提高,但涂层隔热性能与Al2O3涂层相当。 (3). Al2O3涂层中添加部分La2O3与MgO可以制备稳定相的LMA,制备的LMA涂层呈现板片状结构特点,有利于降低涂层内部残余应力,因而可提升涂层性能,其在结合强度、抗击热冲击、抗氧化及隔热性能发面均优于Al2O3- La2O3涂层与Al2O3涂层。 (4). 在1400℃下保温100h,Al2O3涂层与Al2O3- La2O3涂层均会发生γ→α晶形转变,影响涂层的性能,而LMA涂层可保持相稳定性。LMA等离子涂层因其优异的性能可做为传统Al2O3涂层和Y-PSZ涂层的替代者。
北京科技大学 2021-04-11
一种可有效降阻的在线自激式自稳定管式换热器清垢及强化换热技术
针对火电机组汽轮机组凝汽器管式换热器、管式空预器易结垢与积灰、换热 端差大,清洗较困难,且运行成本高等问题,提出并设计了一种以带平衡孔的旋 流叶片为核心的清垢、清灰及强化换热装置,其能依靠循环水、烟气的流动实现 旋流叶片自激旋转,强化扰流,实现在线自动清垢清灰及强化换热,且在平衡孔 的作用下,能防止旋流片的偏斜而实现自平衡稳定。应用本方法与装置应用本方 法与装置于火电机组凝汽器,端差可降低为1~3C,应用于火电机组管式烟气换 热器,可提高热力发电厂热效率该装置还可广泛应用于电力、化工、制 药、印染等表面式换热过程,节能减排效果显著。
重庆大学 2021-04-11
一种含风电的三相不平衡配电网的静态电压稳定性评估方法
本发明公开了一种含风电的三相不平衡配电网的静态电压稳定 性评估方法,包括获取配电网系统参数以及接入配电网的风电参数; 含风电的配电网系统的负荷增长因子 LSF 的初始值为 1,根据配电网 系统参数和风电参数获得含风电的配电网系统在当前 LSF 下的潮流, 并判断潮流是否收敛,若是,则获得配电网各个节点的电压幅值、相 角以及各支路末端的传输功率,若否则配电网失去静态电压稳定性; 根据含风电的配电网的潮流计算结果获得各支路的静态电压稳定指 标;根据各支路的静态电压稳定指标获得全网的静态电压稳定指标和 稳
华中科技大学 2021-04-14
酞菁/氧化石墨烯纳米复合材料合成用于具有高循环稳定性的超级电容器电极
酞菁是一种具有优异光电特性的廉价小分子半导体材料,但是其在常规有机溶剂中溶解性较差,且性能不佳,限制了其在有机忆阻器中的进一步应用。许宗祥课题组从分子设计层面出发,开发了在常规有机溶剂中具有高效分散特性的金属酞菁纳米线,通过溶液法制备出具有优良红外响应特性的薄膜,并以此构建有机忆阻器,该器件是首次报道具有高稳定性和较强红外响应的有机忆阻器器件。
南方科技大学 2021-04-13
“互联网+”大学生创新创业大赛间接带动就业超400万人
中国国际“互联网+”大学生创新创业大赛参赛项目累计落地创办企业超过7万个,创造就业岗位超过60万个,间接带动就业超过400万人。
新华社 2020-11-11
一种迭代空间模糊聚类的大脑磁共振图像超体素生成方法
本发明公开了一种迭代空间模糊聚类的大脑磁共振图像超体素生成方法,包括以下步骤:首先,由于人类大脑具有相同的拓扑结构,从基于群体的大脑MRI模板获得一组种子模板;其次,为了排除部分容积效应的影响,提出了一种迭代空间模糊聚类算法,将体素分配给每个种子生成超体素。本发明能较好地应用于大脑磁共振图像,生成有效的大脑磁共振图像超体素。
东南大学 2021-04-11
超快扫描隧道显微镜并捕捉到极化子动力学行为
成功研制出国内首台超快扫描隧道显微镜,实现飞秒级时间分辨和原子级空间分辨,并捕捉到金属氧化物表面单个极化子的非平衡动力学行为。扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope,STM)由于其隧穿电流具有高度的局域性,空间分辨率可以达到原子量级。然而受电流放大器带宽的局限,其时间分辨一般只能达到微秒量级(10-6 s),而很多微观动力学过程往往发生在皮秒(10-12 s)和飞秒(10-15 s)量级。为了提高STM的时间分辨率,其中一种比较可行的办法是将超快激光的泵浦-探测(pump-probe)技术和STM相结合,利用超快光与电子隧穿过程的耦合来实现“飞秒-埃”尺度的极限探测。尽管超快激光技术和STM相耦合的概念在上世纪90年代就被提出,但是相关研究进展非常缓慢,主要受限于一系列技术难点,例如:激光的热效应对STM隧道电流的干扰、激光诱导电流的低信噪比、超快激光脉冲在STM中的展宽、激光与隧穿电子间的耦合机制等。
北京大学 2021-04-11
一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀
本发明公开了一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀,包括下阀体 (1)、依次压叠在下阀体(1)上的基片(3)、上阀体(4)和平面螺旋线圈(6),下阀 体的底部沿径向方向分别设有进液流道(2)和出液流道(11),下阀体的上部设有液体腔 (13),进液流道(2)设有垂直向上的与液体腔连通的流道口,出液流道(11)与所述液 体腔连通;基片(3)上表面镀有具有逆磁致伸缩效应薄膜(7),下表面镀有具有正磁致伸 缩效应薄膜(9);平面螺旋线圈(6)通电后,磁致伸缩薄膜驱动器在激励磁场的作用下发 生形变向上弯曲,使得工作流体通道打开,实现液压系统回路的通断。本发明具有体积小、 易于微型化、响应速度快、可控性强等特点。
安徽理工大学 2021-04-13
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