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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学 2021-04-14
教创赛专家报告荟萃⑧ | 北京交通大学威海国际学院副院长肖贵平:异地校区中外合作办学教学质量保障的探索与思考
北京交通大学威海国际学院面对中美英三方学制差异,创新三方周例会制度、中外联合管理机制以及分类课程管理模式。
高等教育博览会 2025-09-28
教创赛专家报告荟萃⑥ | 西北工业大学国际合作处处长孔杰:互为镜像 同构创新——中外合作办学与境外合作办学的互动实践
中外合作办学与境外办学是服务教育强国建设的重要路径,两者相辅相成,共同服务于国家战略与高校发展。
高等教育博览会 2025-09-28
新型的碳海绵的制备
近年来,随着微型化、便携式电子产品的迅猛发展,基于超级电容器和电池的超薄、柔性储能器件受到越来越广泛的关注。组装该类高性能的柔性储能器件需要三维柔性电极材料。三维柔性碳电极是最佳的选择,主要因为其惰性的化学特征,而且可以用于几乎所有的电解质体系。目前文献报道的三维柔性碳电极主要是基于碳纳米材料,如碳纳米管和石墨烯等,然而这类柔性电极制备比较复杂,成本较高,难以实现大规模化生产。 我们创新性地采用直接高温碳化聚合物泡沫的方法成果制备了碳海绵。该方法简单,且易于大规模化生产。所制备的碳海绵具有以下特征: 稳定的三维多孔网络结构; 良好的弹性; 可控的孔隙度,孔隙度范围:95-99.9%; 可控的密度,密度范围:3-100 mg/cm3; 可控的导电性,导电率范围:1-30 s/cm; 超疏水和超亲油性。
江西师范大学 2021-05-05
第五届教创赛同期活动预告:教师教学能力提升系列交流活动之二 新时代拔尖创新人才自主培养的思考与实践学术活动
践行强国育人使命 培育时代创新英才
高等教育博览会 2025-07-30
教创赛专家报告荟萃② | 复旦大学高等教育研究所教授副所长陆一:形具而神生——大学通识课程教学质量的关键所在
只有真正促进学生精神气质的转变,使本科教育面貌焕然一新并形成新的传统,才能说通识教育产生了效果。
高等教育博览会 2025-09-26
教创赛专家报告荟萃⑮ | 东北大学党委常委、副校长王兴伟:教学智思体赋能的“学、教、研”多场景数智教育平台建设与实践
东北大学作为中国高等教育的重要基地,始终致力于面向国家战略与产业发展需求培养高水平创新人才。
高等教育博览会 2025-09-28
减噪保温墙体材料及其制备方法和减噪保温砌块及其制作方法
其他成果/n建筑材料技术领域,具体涉及一种减噪保温墙体材料及其制备方法和减噪保温砌块及其制作方法。该方法包括步骤:1)准备原料;2)将骨料、氧化石墨烯、水泥和硅灰混合,得到混合物A;3)向混合物A中依次加入减水剂、粘结剂、激发剂和水泥质量30~40%的水,搅拌混合,得混合浆料B;4)将作物秸秆制作成秸秆框架;5)将混合浆料B倒入模具中进行浇筑,并在浇筑过程中将步骤4)得到的秸秆框架放入到模具中,脱模后经过养护,即得。本发明主要原料为建筑垃圾,解决了建筑垃圾处置问题和废物资源化利用。秸秆与骨料间的空隙结构增长了声波传递的距离并多次折射,削弱了=声波的能量,具有良好的减噪作用。
武汉轻工大学 2021-04-11
一种短路电流零点预测方法及短路电流选相分断控制方法
本发明公开了一种短路电流零点预测方法及短路电流选相分断 控制方法,短路电流选相分断控制方法包括 S1 实时采集电流信号,并 判断是否发生短路故障,若是,则转入步骤 S2,若否,则继续采集电 流信号;S2 采用类-Prony 方法对短路电流进行处理,获得短路电流零 点;S3 根据短路电流零点、断路器的分闸动作时间和最佳燃弧时间获 得距离目标相位的延时时间;S4 判断继电保护指令是否达到,若是, 则直接分断开关,若否,则进入延时倒计时;S5 判断延时倒计时时间 是否为 0,若是,则转入步骤 S6,若否,
华中科技大学 2021-04-14
第五届教创赛同期活动预告:教师教学能力提升系列交流活动之五 生成式人工智能驱动的高等教育教学模式创新学术活动
教育大模型与教学智能体的创新应用
高等教育博览会 2025-08-04
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