一种离子团束 3D 打印装置及方法
本发明公开了一种离子团束 3D 打印装置,包括离子源、离子团 束打印头、XYZ 三轴移动平台和载物平台,离子源用于提供离子团束; 离子团束打印头包括牵引电极、一级静电透镜、限束光阑、多级磁偏 转装置和二级静电透镜,牵引电极用于从离子源中引出离子团束;一 级静电透镜用于提高离子团束的速度;多级磁偏转装置用于调整离子 团束的位置以减少像散以及实现离子团束消隐;二级静电透镜用于聚 焦得到所需孔径的离子团束;XYZ 三轴移动平台用于带动离子源和离 子团束打印头移动;载物平台,用于承接工件。本发明采用将离子团
华中科技大学
2021-04-14