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MEMS
惯性
测量
单元
电子科技大学
2021-04-10
MEMS
惯性
测量
单元
电子科技大学
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MEMS
气象站
东南大学
2021-04-13
高精度磨床
热
变形
测量
及误差补偿
上海理工大学
2021-04-11
MEMS
压力传感器
电子科技大学
2021-04-10
MEMS
压力传感器
中国科学院大学
2021-01-12
MEMS
压力传感器
电子科技大学
2017-10-23
非硅
MEMS
技术及其应用
上海交通大学
2021-04-13
光学防抖
MEMS
驱动器
杭州电子科技大学
2021-05-06
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