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惯性测量单元
电子科技大学
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MEMS
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MEMS
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中国科学院大学
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MEMS
压力传感器
电子科技大学
2017-10-23
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MEMS
技术及其应用
上海交通大学
2021-04-13
光学防抖
MEMS
驱动器
杭州电子科技大学
2021-05-06
新型谐振
MEMS
微惯性传感器
上海交通大学
2021-04-10
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