教授
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王辰伟
专家职称:
专家职务:
电子信息工程学院博士
擅长领域:
电子信息
所在单位:
河北工业大学
专家介绍:
主要从事集成电路关键材料-抛光液研发及产业化研究，主研完成国家中长期发展规划02 重大专项项目“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”及“20-14nm 集成电路抛光液及清洗液研发”2 项，研究成果已在我国集成电路龙头企业中芯国际实施并转化；为河北省“巨人计划”创新团队及河北省电子超精密加工材料与技术协同创新中心产业化应用方向负责人；中国高等教育学会科技服务专家指导委员会委员。获天津市科学技术发明奖一项，主研国家自然科学基金 1 项及主持完成河北省自然科学基金 1 项，成果转化 2 项，横向合作经费 1000 余万元。发表 SCI、EI论文 20 余篇，申请及授权发明专利 10 余项。
作为负责人与北方集成电路技术创新中心 《北京) 有限公司，签订横向项目“多层铜布线 CMP 新材料与新技术成果应用工程”一项，2021/10- 2024/12，合同金额 600万元，该成果阻挡层抛光液及其应用工艺技术，已经通过了工艺考核、小批量供应以及大批量供应，电性能、可性均达标，用户成品率达 99%以上，工程工艺技术采用新技术，大大简化，性价比高、环保、安全，国家难一全部材料国产化，有效解决了卡脖子核心材料，具有椰好的社会效益与经济效益!
2021 年 8 月至今，挂职江苏省宣兴市挂职经开区科技局副局长期间，依托河北工业大学的人才、学科优势以及个人的专业优势，结合宜兴区域优势，与江苏山水半导体科技有限公司进行深度校企合作，解决了以中环领先半导体为代表的的我围大硅片制造关键原材料“断供”难题以及多项关键技术问题，良品率达到和超过了国际同类水平，为我国集成电路产业链与供应链安全提供有力支撑，签订横向合同 200 余万元，并共建了工程技术研究中心，为技术合作和人才培养提供支撑。