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微机械陀螺仪CRS03-02/CRS03-04
产品详细介绍 微机械陀螺仪CRS03-02/CRS03-04系列 微机械陀螺仪CRS03系列简介：CRS03系列微机械陀螺仪(角速度传感器) 是用于测量运动物体角速度的微型惯性器件。陀螺仪应用Corioli效果，采用硅素超微精密环型传感件设计而生产一耐震动的高精度类比输出电压。 微机械陀螺仪CRS03系列特点：◆利用MEMS（微机械加工）的微型器械。◆由于平面环状结构，因此受震动和冲击的影响很小。微机械陀螺仪CRS03系列用途：◆导航◆平台稳定◆汽车安全系统◆遥控直升机◆车装卫星天线设备◆工业用◆机器人◆3D虚拟实境◆船只电子磁针误差补偿有关倾斜（角速度）感应设备 微机械陀螺仪CRS03系列技术参数：
陕西航天长城科技有限公司
2021-08-23
通过程序降温提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法
本发明公开了一种提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法， 该方法是在洁净背景气氛下，将金属氧化物气体传感器在特定工作温 度(200-400℃)稳定，然后设定降温速度为 1-50℃/s 范围内的某一特定 速度，程序降温到特定低温(室温-200℃)，获得传感器的电阻随温度的 变化曲线 Rair-T，作为基底信号；检测气体氛围下，以相同流程控制 传感器温度，获得传感器的电阻随温度的变化曲线 RGas-T，作为响应 信号；将基
华中科技大学
2021-04-14
一种用于排汗和降温防护服的相变微胶囊面料及运行方法
本发明涉及人体防护服降温领域，具体涉及一种基于相变微胶囊的降温织物。所述降温织物包括聚酯纤维层、相变微胶囊层和PTFE防水透气膜层。聚酯纤维层采用亲肤聚酯纤维，具有优异的吸湿排汗性能，可提高穿着舒适性；相变微胶囊层由包覆相变材料的微胶囊均匀嵌入纺织结构中，在环境温度升高时吸收热量并发生相变，降低织物温度；PTFE防水透气膜层具备防水透气功能，可防止外部液体渗透的同时允许水蒸气透过，增强环境适应性。通过优化相变微胶囊的纺织方法，可使织物在保持透气性的同时提高相变换热效率，确保织物在高温中的降温性能。本发明可广泛应用于高温作业服、户外运动服及智能温控纺织品，具有温度调节能力强、舒适透气等优点。
南京工业大学
2021-01-12
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺，属于微机电系统的封装方法，解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小，容易损坏，以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括：淀积吸气剂步骤；淀积薄牺牲层步骤；淀积缓冲腔牺牲层步骤；淀积厚牺牲层步骤；制作封装盖步骤；刻蚀释放孔步骤；去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短，密封质量低，封装尺寸大，工艺与标准 IC 工艺不兼容，成本高的问题，从而保证最里面的腔体气压；同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封
华中科技大学
2021-04-14
一种在 SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法
本发明公开了一种在SOI硅片上制备微机械悬空结构的方法。对悬空结构及其固定结构采用不同的槽宽设计，其中，固定结构的槽宽明显大于悬空结构，宽槽底部经刻蚀首先到达或更加接近SiO2层，再通过各向同性干法刻蚀使窄槽底部相互连通并与窄槽下方的Si层分离，将窄槽间的梁释放，形成具有平整底面的悬空结构，同时去除固定结构与悬空结构连接区底部的Si以及固定结构与其它结构之间的区域底部的Si，使得固定结构与窄槽下方的Si层及其它结构隔离，从而使不同的固定结构间相互绝缘。本发明的方法简单有效，能广泛应用于MEMS悬空结构的加工。
华中科技大学
2021-04-14
船舶动力设备振动主动控制技术
技术成熟度：技术突破
针对船舶机械设备减振降噪需求，提出了结构振动信息作为性能指标的主动减振控制策略。解决了船舶复杂应用环境下，主动减振技术“减振不一定降噪”的难题。攻克超低频、高出力密度主动减振系统执行机构的分析方法和设计关键技术，研发了系列化的电磁式作动器和主被动复合减振器，应用于船舶主机、辅机和管路系统振动抑制。突破了现有主动执行机构低频作动能力的瓶颈，发明了准零刚度作动器，有效覆盖国外探测技术的频率下限，解决了新一代船舶对超低频线谱振动和水下辐射噪声控制的迫切需求。提出了稳定性高、收敛速度快、扩展性强的主动减振核心控制算法并形成工程应用软件。突破了参考输入线谱增强、多频振动均衡控制、控制输出饱和抑制等一系列核心关键技术，解决了主动减振技术实船应用的稳、快、准的难题。研发了首套兼具工作过程自监测、运行故障自诊断、控制效果自评估功能的集成化、模块化主动控制系统，实现了主动减振系统100%国产化。解决了船舶机械设备主动减振系统关键部件自主可控难题。
意向开展成果转化的前提条件：船舶机械设备减振降噪
哈尔滨工程大学
2025-05-19
一种扭摆式叉指微机电磁场传感器
本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的玻璃衬底，深掺杂硅层，掺杂硅层的中部为扭转叉指结构，扭转叉指结构的正对位置设置有静态叉指结构。静态叉指结构的两端设有锚区，中间扭转可动叉指的的支撑梁的两端都设有锚区；静态叉指与中间扭转叉指形成第一电容和第二电容。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。
东南大学
2021-04-11
一种扭摆平移式微机电磁场传感器
本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、氧化硅层及金属层，牺牲层的中部空心，氧化层的中部为扭转板，金属层的顶面设有锚区，金属层位于扭转板上方；扭转板的上方设置第一电容、第二电容，第三电容和第四电容，扭转板的顶面布设有第一电容引线、第二电容引线、第三电容引线，第四电容引线和沿扭转板边缘布设的金属线；金属线的两端分别与一个焊盘连接；底电极层与金属层连接；在氧化硅层的边部上方设置焊盘，金属层与焊盘连接。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。
东南大学
2021-04-11
基于硅衬底氮化物材料集成制备微机电可调谐振光栅
南京邮电大学
2021-04-14
微机制冷量热仪-鹤壁盛华煤质分析仪器
产品详细介绍标准配置： LR-4A量热仪主机、冷却器、联想电脑、打印机、充氧仪、氧弹 适用范围及标准： LR-4A量热仪采用并符GB/T213-2003《煤的发热量测定方法》的要求，该量热仪适用于煤炭、焦炭、石油及水泥黑生料等可燃物质的热值 技术参数： 测温范围：0℃~65℃ 测温分辨率：0.001℃ 样品量：0.5g~1.5g 自动调节内外桶水温 发热量测试精度：优于0.2％（苯甲酸） 电源：AC220V±10％,50Hz 自动定量水，定量误差：≤±1g 功率：200W 主要特点：1.LR-4A量热仪系统运行于WindowsXP及以上系统，界面友好，易学易用。2.LR-4A量热仪采用先进的电子制冷工艺，完全不受环境温度变化的影响，确保仪器内外筒温差符合国标要求。可连续长时间工作。3.LR-4A量热仪自动注水、排水、自动调水温，自动完成测试全过程并打印测试结果 4.LR-4A量热仪可作为单筒量热仪使用，亦可对两套量热弹筒进行异步操作。在进行双筒测控时，两套量热弹筒互不干扰，可随时进行其中一台量热仪的操作
鹤壁市盛华实验仪器厂
2021-08-23