一种微机电系统的圆片级真空封装方法

一种微机电系统的圆片级真空封装方法，属于微机电系统的封装方法，解决现有封装方法存在的问题，使得微型真空腔长时间保持真空，满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括：刻蚀步骤：在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑，再环绕凹坑刻蚀环形凹槽；吸气剂淀积步骤：在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜；键合步骤：在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题，可以长时间保持微型腔体内的真空度，极大的推动圆片级 MEMS

华中科技大学 2021-04-14

微机械陀螺仪CRS03-02/CRS03-04

产品详细介绍 微机械陀螺仪CRS03-02/CRS03-04系列 微机械陀螺仪CRS03系列简介：CRS03系列微机械陀螺仪(角速度传感器) 是用于测量运动物体角速度的微型惯性器件。陀螺仪应用Corioli效果，采用硅素超微精密环型传感件设计而生产一耐震动的高精度类比输出电压。 微机械陀螺仪CRS03系列特点：◆利用MEMS（微机械加工）的微型器械。◆由于平面环状结构，因此受震动和冲击的影响很小。微机械陀螺仪CRS03系列用途：◆导航◆平台稳定◆汽车安全系统◆遥控直升机◆车装卫星天线设备◆工业用◆机器人◆3D虚拟实境◆船只电子磁针误差补偿有关倾斜（角速度）感应设备 微机械陀螺仪CRS03系列技术参数：

陕西航天长城科技有限公司 2021-08-23

一种微机电系统的圆片级真空封装工艺

一种微机电系统的圆片级真空封装工艺，属于微机电系统的封装方法，解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小，容易损坏，以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括：淀积吸气剂步骤；淀积薄牺牲层步骤；淀积缓冲腔牺牲层步骤；淀积厚牺牲层步骤；制作封装盖步骤；刻蚀释放孔步骤；去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短，密封质量低，封装尺寸大，工艺与标准 IC 工艺不兼容，成本高的问题，从而保证最里面的腔体气压；同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封

华中科技大学 2021-04-14

一种在 SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法

本发明公开了一种在SOI硅片上制备微机械悬空结构的方法。对悬空结构及其固定结构采用不同的槽宽设计，其中，固定结构的槽宽明显大于悬空结构，宽槽底部经刻蚀首先到达或更加接近SiO2层，再通过各向同性干法刻蚀使窄槽底部相互连通并与窄槽下方的Si层分离，将窄槽间的梁释放，形成具有平整底面的悬空结构，同时去除固定结构与悬空结构连接区底部的Si以及固定结构与其它结构之间的区域底部的Si，使得固定结构与窄槽下方的Si层及其它结构隔离，从而使不同的固定结构间相互绝缘。本发明的方法简单有效，能广泛应用于MEMS悬空结构的加工。

华中科技大学 2021-04-14

一种自动配料和混料的多喷头生物3D打印设备及控制方法

本发明公开了一种自动配料和混料的多喷头生物3D打印设备及控制方法，属于组织工程和生物3D打印领域。气压压料罐气压源和电磁换向阀进口连接，电磁换向阀出口与喷头连接，当气压源供压且电磁换向阀得电时，可将气压压料罐内的生物材料按比例压入到混料筒内，然后通过混料罐组件内的搅拌器将生物材料混合均匀。混料罐组件与气压源和电磁换向阀进口连接，电磁换向阀出口与喷头连接，当气压源供压且电磁换向阀得电时，可将混料筒内的生物材料从喷头中压出，喷头在移动顶梁和取料驱动臂配合运动下按照预定路径完成打印工作。其优点是：能快速完成自动配料和混料，多喷头可满足多种打印需求，更好地发挥打印性能，易于实现灵活控制，提高打印效率。

浙江大学 2021-04-13

一种基于分层配料与布料的烧结过程SO2、二噁英协同减排方法

（专利号：ZL 201510137245.3） 简介：本发明公开了一种基于分层配料与布料的烧结过程SO2、二噁英协同减排方法，属于烧结过程污染物减排技术领域。本发明的具体步骤为：步骤一：烧结混料：制备烧结混合料和配有添加剂的混合料，其中添加剂为尿素颗粒；步骤二：烧结布料：在烧结台车的上面铺装铺底料层；将烧结混合料铺装在铺底料层的上面形成第一混合料层；再将配有添加剂的混合料铺装在第一混合料层上面形成协同减排料层；而后将烧结混合料铺装在协同减排料层上面形成第二混合料层；步骤三：烟气集中收集处理：将台车中后部的风箱内的烟气经增压泵汇入布袋除尘器。本发明通过分层配料与布料，实现了烧结过程SO2、二噁英的协同减排，大大减轻了钢铁企业的减排负担。  

安徽工业大学 2021-04-11

一种扭摆式叉指微机电磁场传感器

本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的玻璃衬底，深掺杂硅层，掺杂硅层的中部为扭转叉指结构，扭转叉指结构的正对位置设置有静态叉指结构。静态叉指结构的两端设有锚区，中间扭转可动叉指的的支撑梁的两端都设有锚区；静态叉指与中间扭转叉指形成第一电容和第二电容。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。

东南大学 2021-04-11

一种扭摆平移式微机电磁场传感器

本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、氧化硅层及金属层，牺牲层的中部空心，氧化层的中部为扭转板，金属层的顶面设有锚区，金属层位于扭转板上方；扭转板的上方设置第一电容、第二电容，第三电容和第四电容，扭转板的顶面布设有第一电容引线、第二电容引线、第三电容引线，第四电容引线和沿扭转板边缘布设的金属线；金属线的两端分别与一个焊盘连接；底电极层与金属层连接；在氧化硅层的边部上方设置焊盘，金属层与焊盘连接。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。

东南大学 2021-04-11

基于硅衬底氮化物材料集成制备微机电可调谐振光栅

南京邮电大学 2021-04-14

微机制冷量热仪-鹤壁盛华煤质分析仪器

产品详细介绍标准配置： LR-4A量热仪主机、冷却器、联想电脑、打印机、充氧仪、氧弹 适用范围及标准： LR-4A量热仪采用并符GB/T213-2003《煤的发热量测定方法》的要求，该量热仪适用于煤炭、焦炭、石油及水泥黑生料等可燃物质的热值 技术参数：     测温范围：0℃~65℃                             测温分辨率：0.001℃     样品量：0.5g~1.5g                             自动调节内外桶水温     发热量测试精度：优于0.2％（苯甲酸）     电源：AC220V±10％,50Hz     自动定量水，定量误差：≤±1g               功率：200W 主要特点：1.LR-4A量热仪系统运行于WindowsXP及以上系统，界面友好，易学易用。2.LR-4A量热仪采用先进的电子制冷工艺，完全不受环境温度变化的影响，确保仪器内外筒温差符合国标要求。可连续长时间工作。3.LR-4A量热仪自动注水、排水、自动调水温，自动完成测试全过程并打印测试结果 4.LR-4A量热仪可作为单筒量热仪使用，亦可对两套量热弹筒进行异步操作。在进行双筒测控时，两套量热弹筒互不干扰，可随时进行其中一台量热仪的操作 

鹤壁市盛华实验仪器厂 2021-08-23