氮化镓陶瓷薄膜电路的激光直写

LPKF ProtoLaser R4可针对敏感基材实现高精度加工

乐普科（天津）光电有限公司 2022-06-22

一种电纺丝直写工艺闭环控制方法

本发明公开了一种电纺丝直写工艺闭环控制方法，根据实际喷射时流体的变化，将喷嘴处的液体分成泰勒锥和射流两部分进行控制，即采用高速相机进行形态检测，并将末端信息直接反馈给控制器，能够分别对影响射流和泰勒锥最关键的因素基板运动速度和喷射电压进行调控，从而对电纺丝直写工艺进行闭环控制，取得控制纤维形貌和直径、从而制备高精度阵列化图案的有益效果。

华中科技大学 2021-04-14

一种电纺丝直写工艺闭环控制方法

本发明公开了一种电纺丝直写工艺闭环控制方法，根据实际喷 射时流体的变化，将喷嘴处的液体分成泰勒锥和射流两部分进行控制， 即采用高速相机进行形态检测，并将末端信息直接反馈给控制器，能 够分别对影响射流和泰勒锥最关键的因素基板运动速度和喷射电压进 行调控，从而对电纺丝直写工艺进行闭环控制，取得控制纤维形貌和 直径、从而制备高精度阵列化图案的有益效果。 

华中科技大学 2021-04-14

压印法集成电路光刻技术

本项目提出一种创新的集成电路(IC)制造工艺路线，即压印光刻(Imprint Lithography－IL)技术，并对该技术相关的压印和脱模工艺机理、紫外光固化阻蚀胶材料的物化和工艺特性、与IC制造其它工艺的综合集成和优化、压印光刻设备的关键技术等进行研究和技术开发。其基本原理为：以电子束直写刻蚀(或其它刻蚀技术)生成IC图型母板(模具)，以母板(模具)步

西安交通大学 2021-01-12

用于浸没式光刻的浸液温控装置

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用 于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管 路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出； 用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中 循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次 完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳 定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部 回流结构与多级热交换器相结合，实现对浸液温度的多级控制，可以 实现浸没光刻中对浸液稳定的精确稳定的控制，提供温控效率。 

华中科技大学 2021-04-11

一种光刻掩模优化设计方法

本发明公开了一种光刻掩模优化设计方法，该方法首先依据表 征掩模的网格格点尺寸大小对掩模进行分级，在粗网格上快速求解掩 模，然后对在粗网格上求解得到的掩模进行插值传播到下一级较细网 格上进行细化校正，最终实现了掩模的快速优化。 

华中科技大学 2021-04-11

微纳米压印光刻工艺及装备

微纳米结构成形是光电子制造中的核心工艺之一。压印光刻克服了传统光学光刻中光学衍射效应的限制，是一种经济、高效、高分辨的结构成形方法。 正在探索的压印工艺方法包括：UV-NIL、模板电诱导自组装纳米成形、电润湿驱动纳米压印等。   正在探讨压印光刻的应用领域包括：集成电路(IC)、微机电系统(MEMS)、生物微流控、光波导、光或磁存储、有机光电子、平板显示等器件的制造。

西安交通大学 2021-04-11

超衍射极限纳米光刻机技术

研发阶段/n1、在该方向发表论文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申报和获得该方向相关发明专利8项。其中1项授权转让给Facebook，Sony和中国一家企业。在华中科技大学申报5项发明专利，依托武汉舒博光电技术有限公司申报2项发明专利。。3、研发出2代超分辨纳米光刻样机。。4、配备光学装备开发专门团队，初步建成光学精密制造和检测平台。

华中科技大学 2021-01-12

一种光刻掩模优化设计方法

本发明公开了一种光刻掩模优化设计方法，该方法首先依据表征掩模的网格格点尺寸大小对掩模进行分级，在粗网格上快速求解掩模，然后对在粗网格上求解得到的掩模进行插值传播到下一级较细网格上进行细化校正，最终实现了掩模的快速优化。

华中科技大学 2021-04-14

用于浸没式光刻的浸液温控装置

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部回流结构与多级热交换器相结合，

华中科技大学 2021-04-14