惯性测量单元（Inertial Measurement Unit，简称IMU）是测量物体三轴姿态角（或角速度）以及加速度的装置。IMU属于捷联式惯导，该系统由两个加速度传感器与三个速度传感器（陀螺）组成，加速度计测量物体在载体坐标系统独立三轴的加速度信号，而陀螺检测载体相对于导航坐标系的角速度信号，测量物体在三维空间中的角速度和加速度，并以此解算出物体的姿态。在导航中有着很重要的应用价值。 技术指标 技术指标 单位 型号 UESTCME-1 UESTCME-2 UESTCME-3 轴数 个 3 3 3 加速度量程 ±10g ±35g ±35g 加速度精度 2.8 5.5 11 加速度灵敏度 mV/g 100±2 20±1 40±1 加速度零点稳定性 mg/hr 15 60 40 加速度温度漂移 % <2% <2% <2% 角速度量程 o/s ±150 ±300 ±300 角度精度 度 0.1 0.2 0.1 角度灵敏度 mV/o/s 6±1 6±1 25±1 角度零点漂移 o/hr 0.3 1.0 0.3 角度温度漂移 % <2% <5% <2%

惯性测量单元（Inertial Measurement Unit，简称IMU）是测量物体三轴姿态角（或角速度）以及加速度的装置。IMU属于捷联式惯导，该系统由两个加速度传感器与三个速度传感器（陀螺）组成，加速度计测量物体在载体坐标系统独立三轴的加速度信号，而陀螺检测载体相对于导航坐标系的角速度信号，测量物体在三维空间中的角速度和加速度，并以此解算出物体的姿态。在导航中有着很重要的应用价值。

成果简介： 惯性测量单元（Inertial Measurement Unit，简称IMU）是测量物体三轴姿态角（或角速度）以及加速度的装置。IMU属于捷联式惯导，该系统由两个加速度传感器与三个速度传感器（陀螺）组成，加速度计测量物体在载体坐标系统独立三轴的加速度信号，而陀螺检测载体相对于导航坐标系的角速度信号，测量物体在三维空间中的角速度和加速度，并以此解算出物体的姿态。在导航中有着很重要的应用价值。 技术指标 技术指标 单位 型号 UESTCME-1 UESTCME-2 UESTCME-3 轴数 个 3 3 3 加速度量程 ±10g ±35g ±35g 加速度精度 2.8 5.5 11 加速度灵敏度 mV/g 100±2 20±1 40±1 加速度零点稳定性 mg/hr 15 60 40 加速度温度漂移 % <2% <2% <2% 角速度量程 o/s ±150 ±300 ±300 角度精度 度 0.1 0.2 0.1 角度灵敏度 mV/o/s 6±1 6±1 25±1 角度零点漂移 o/hr 0.3 1.0 0.3 角度温度漂移 % <2% <5% <2%

MEMS气象站可实现温度、湿度、压力和风速等信息的实时监测。

本发明公开了一种基于位移差分的 MEMS 重力梯度仪。包括第一振子单元和第二振子单元；前者包括第一外围框架和与第一外围框架通过第一组梁连接的第一检验质量，后者包括第二外围框架和与第二外围框架通过第二组梁连接的第二检验质量，第一组梁和第一检验质量构成第一机械振子，第二组梁和第二检验质量构成第二机械振子，第一振子单元和第二振子单元相向正对设置，第一机械振子和第二机械振子的敏感轴位于同一直线上，第一检验质量上的电容阵列与第二检验质量上的电容阵列构成位移检测电容，通过位移检测电容测得检验质量的位移差进而得到

.1 系统构成 光纤陀螺教学实验系统主要用于光纤陀螺原理的实验和演示，光纤陀螺放置于一个专用的两轴转台上，结合测控计算机可以完成相关的实验内容。光纤陀螺的外壳盖板采用高透明度亚克力材料，超辐射光源、光纤耦合器、光电探测器、光相位调节器、光路（光纤环）等部件及其连接结构清晰可见，通过声光电显示指示对应名称和功能，也可以显示工作过程；可显示光纤陀螺Sagnac干涉仪输出变化，结合转台可以完成光纤陀螺仪寻北实验。   图2-1  光纤陀螺教学实验演示装置   图2-2 系统连接图 2 光纤陀螺仪 光纤陀螺仪部分由五个光纤核心元件构成，分别为超辐射发光光源、保偏耦合器、集成光学相位调制器、光纤环圈与探测器。调制解调部分为数字闭环调制解调方式，采用方波做为偏置调制，数字阶梯波作为闭环反馈控制机制。该结构为国际光纤陀螺主流方案配置，具有很高的实用价值。 为便于观察陀螺工作方式，陀螺外壳设计为有机玻璃外壳，内部光学元件按照光信号流程布局，并在相应位置加以标明，有助于了解光纤陀螺仪的光路总体结构。   图2-3 光纤陀螺 3 性能指标 3.1 光纤陀螺演示仪 测量范围：±500°/s 零偏稳定性：≦2°/h 标度因数重复性：≦20ppm 数据刷新率：>100Hz 频带宽度：>200Hz 光纤陀螺演示仪光纤环尺寸：>180mm外壳采用高透明度亚克力材料，超辐射光源、光纤耦合器、光电探测器、光相位调节器、光路（光纤环）等部件及其连接结构清晰可见； 带有触摸互动功能，学员可以通过触摸相应部位对应的部件可通过声光显示指示对应名称和功能，也可以显示工作过程； 外接输出阶梯波反馈信号，观察闭环反馈工作过程；探测器输出交流闭环信号接口，观察实际闭环条件下的输出工作状态； 外接监视器，用于观察Sagnac干涉仪输出干涉条纹在陀螺实际工作状态下干涉场的变化。 3.2 电动转台 纵轴和横轴转动角度范围：360°连续无限（无外接测试电缆时）； 角位置测量分辨率：±5’； 控制到位精度：±5’ 速率范围：0～50 º/s； 数据更新率：>20Hz； 通讯波特率：115200 bps 4 电动转台测控软件使用 4.1 软件介绍 光纤陀螺实验系统的软件包含： 1） 转台控制软件， 2） 光纤陀螺数据采集软件， 3） 光纤陀螺演示软件， 4） 实验互动应用软件APP（适用于安卓手机或平板电脑）   4.2实验目的和要求 1）光纤陀螺构成及基本原理实验，重点理解Sagnac效应。 2）光纤陀螺输出角速率测量及比对实验； 3）光纤陀螺角电压振幅的变化比对实验； 4）光纤陀螺仪寻北实验。   5、适用课程 导航原理、惯性传感器原理、惯性导航原理、导航制导与控制、飞行控制原理、无人机实训实验、新型光电传感器、传感器原理及应用等。

将Φ0.08～Φ0.30mm直径的细丝规则缠绕在圆柱体、圆锥体、椭圆体上的机械设备。 主要应用对象：光纤陀螺、精密线圈、制导线圈等领域。 主要性能指标：1. 缠绕直径Φ0.08-Φ0.30mm（可扩展）；2. 张力控制范围3-100g（可扩展）；3. 张力控制精度±0.2g（可扩展）。

1、成果简介 将Φ0.08-Φ0.30mm直径的细丝规则缠绕在圆柱体、圆锥体、椭圆体上的机械设备。技术指标： 1、缠绕直径Φ0.08-Φ0.30mm（可扩展） 2、张力控制范围3-100g（可扩展） 3、张力控制精度±0.2g（可扩展）2、应用说明 应用对象：光纤陀螺、精密线圈、制导线圈、线导线圈等领域。3、效益分析 高技术产品

自然频率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 灵敏度 50-80Hz/kPa 一个大气压下（101.3kPa）的谐振频率 63 kHz-75 kHz 受温度的影响 15V 1.5V 驱动电压 50-80Hz/kPa

已有样品/n已完成针对低、中、高压（10kPa-40MPa）MEMS 压力芯片的原型器件开发；能 够针对不同应用领域的 MEMS 压力芯片进行优化设计，解决提高灵敏度和降低非线 性、芯片长期工作稳定性的关键技术难题；原型芯片的研发技术符合工程量产化技 术要求，易于快速转化和量产；与国外知名公司产品相比，技术指标相当，部分指 标如灵敏度温漂系数相比优异。 MEMS压力传感器可应用于工业类仪器仪表、油井勘探、工业自动化控制中压力 监测、可穿戴、智慧医疗领域压力测量、汽车电子等领域。年需求量可达数千万只。