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一种椭偏仪系统参数的优化方法
本发明公开了一种椭偏仪系统参数优化方法，包括首先建立待 优化椭偏仪的系统模型，并得到包含椭偏仪系统参数的矩阵 W；然后计算椭偏仪系统矩阵 W 在不同椭偏仪系统参数下的条件数；再次计算 出每个椭偏仪系统参数下矩阵 W 条件数的最大值与最小值的差值，并 按差值从大到小顺序排列；最后根据差值的排列顺序，优化每个椭偏 仪系统参数，重复 n 次优化后，选取排列最前的系统参数，求得其 n 次优化后最小条件数值与第 n-1 次优化时矩阵 W 最小条件数值之间的 差值，当差值大小满足要求时，则认为第 n 次优化后的椭偏仪系统参 数为当前椭偏仪的最优系统参数。本发明方法过程明确、简单，最优 参数的选定标准灵活可变，可以适用于现有不同结构类型的椭偏仪的 优化。
华中科技大学
2021-04-11
椭偏仪测量系统的随机误差评估方法
本发明公开了一种评估椭偏仪测量系统的随机误差的方法。该方法首先建立椭偏仪测量系统的系统模型和系统传递函数，然后通过分析椭偏仪测量系统的随机噪声的来源及特点，建立适用于具体配置类型椭偏仪测量系统的随机噪声模型，最后根据传递函数和随机噪声模型，推导随机噪声的传递模型，从而计算评估系统的随机误差。评估仪器随机误差的一般方法是进行多次测量，然后根据多次测量结果的分布情况评估测量系统的随机误差，本发明方法通过建立随机噪声模型和计算随机噪声传递特性，可以在一次测量中评估椭偏仪测量系统的随机误差。适用于现有多种配
华中科技大学
2021-04-14
旋转器件型光谱椭偏仪系统参数校准方法
本发明公开了一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统参数的校准方法，该方法可以在一次测量中获取旋转器件型光谱椭偏仪中全光谱范围的系统参数，其方法是将任意厚度的标准样件作为待测样件，使用待校准光谱椭偏仪进行测量，对测量获得的光强谐波信号进行傅里叶分析，通过傅里叶系数序列计算获取第一个波长点的系统参数，以其作为初值，采用非线性回归算法，通过理论光谱拟合测量光谱，获得第一个波长点的系统参数。并依次以校准获得的第 i 个波长点的系统参数作为初值，拟合获得第 i+1 个波长点的系统参数，进而获得全光谱范围的系统参数。
华中科技大学
2021-04-14
一种椭偏仪系统参数的优化方法
本发明公开了一种椭偏仪系统参数优化方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并得到包含椭偏仪系统参数的矩阵 W；然后计算椭偏仪系统矩阵 W 在不同椭偏仪系统参数下的条件数；再次计算出每个椭偏仪系统参数下矩阵 W 条件数的最大值与最小值的差值，并按差值从大到小顺序排列；最后根据差值的排列顺序，优化每个椭偏仪系统参数，重复 n 次优化后，选取排列最前的系统参数，求得其 n次优化后最小条件数值与第 n-1 次优化时矩阵 W 最小条件数值之间的差值，当差值大小满足要求时，则认为第 n 次优化后的椭偏仪系统参
华中科技大学
2021-04-14
一种广义椭偏仪的同步控制系统
本发明属于广义椭偏仪的控制技术，具体为一种广义椭偏仪的同步控制系统。该同步控制系统至少包括：第一、第二中空伺服电机及其内置的增量式编码器、伺服电机控制器、两个补偿器、光谱仪、计算机和单片机。其中伺服电机控制器、光谱仪分别与计算机通过 USB端口连接，单片机通过串口与计算机相连，同时单片机对应引脚又分别与两中空伺服电机编码器 Z 向信号线和光谱仪 I/O 口连接。光谱仪识别到高电平并在高电平持续时间内完成光谱数据采集；根据计时器返回时间就可以计算出光谱仪开始采集时刻两补偿器光轴的位置。该方法可以精确控
华中科技大学
2021-04-14
华中科技大学椭偏仪采购项目公开招标公告
华中科技大学椭偏仪采购项目招标项目的潜在投标人应在网上报名获取招标文件，并于2022年06月23日09点30分（北京时间）前递交投标文件。
华中科技大学
2022-06-01
一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法
本发明公开了一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法，方法是将起偏臂产生的调制光线投射到待测样件表面，检偏臂将待测样件反射(或透射)的光线解调并接收，通过对测量光谱进行谐波分析，计算获得待测样件的全穆勒矩阵信息，并通过非线性回归，库匹配等算法拟合提取待测样件的光学常数，特征形貌尺寸等信息。椭偏仪包括起偏臂(包括光源，透镜组，起偏器和伺服电机驱动的补偿器)，待测样件和检偏臂(包括伺服电机驱动的补偿器，检偏器，透镜组和光谱仪)。本发明可实现各种信息光电子功能材料和器件，以及纳米制造中各种纳米结构的在线
华中科技大学
2021-04-14
一种用于广义椭偏仪的光强自动调整装置及其控制方法
本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。 装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增 量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情 况下，根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是否绝大部分在光谱 仪线性响应区间来决定是否要转动直流伺服电机，从而带动中性密度 滤波片转盘转动以切换中性密度滤波片来改变光源照射出来的光强大 小。本发明可以实现对双旋转补偿器广义椭偏仪光强自动调整，且响 应快速，操作简单。
华中科技大学
2021-04-11
一种用于广义椭偏仪的光强自动调整装置及其控制方法
本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情况下，根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是否绝大部分在光谱仪线性响应区间来决定是否要转动直流伺服电机，从而带动中性密度滤波片转盘转动以切换中性密度滤波片来改变光源照射出来的光强大小。本发明可以实现对双旋转补偿器广义椭偏仪光强自动调整，且响应快速，操作简单。
华中科技大学
2021-04-14
用于双旋转补偿器椭偏仪的菲涅尔棱镜相位延迟器
本发明公开了一种菲涅尔棱镜相位延迟器，其由两斜方棱镜各以其一端的倾斜底面相互贴合形成对称结构而构成，通过选择相应折射率的棱镜材料以及确定斜方棱镜斜角，入射光束经其中一个斜方棱镜另一端的倾斜底面垂直入射到该斜方棱镜，经其相对的两侧面依次进行两次全反射后通过两斜方棱镜的贴合面入射到另一斜方棱镜，并同样经该斜方棱镜的相对的两侧面依次进行两次全反射后出射，即可得到该双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪所需求的相位延迟量。该相位延迟器能够在包括紫外、可见以及红外的波段内实现良好的消色差性能，并且对光束入射角不敏感，同时
华中科技大学
2021-04-14