镁基金属玻璃薄膜及其制备方法和应用
本发明公开了一种镁基金属玻璃薄膜及其制备方法,它的化学 通式为 MgaCubYc,其中,a,b,c 为原子百分比,46.30≤a≤58.01, 24.61≤b≤28.96,13.18≤c≤24.74,且 a+b+c=100。本发明还公开了 一种镁基金属玻璃薄膜的制备方法,其采用磁控溅射制备得到,包括: 将 Mg、Cu 和 Y 按一定配比制备成合金靶;使用单晶硅片及普通玻璃 片作为薄膜的基底;将合金靶及薄膜基底放入溅射腔中,进行磁控
华中科技大学
2021-04-14