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芯片倒装
一种用于芯片倒装的多自由度键合头
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倒装键合平台
一种用于高密度芯片的倒装键合平台
合作：
磁致伸缩导波
一种改善磁致伸缩导波测距盲区的信号跟随方法及装置
合作：
路径规划
一种多轴联动砂带磨削加工中的路径规划方法
合作：
薄膜输送纠偏
一种兼具张力控制的薄膜输送纠偏装置
合作：
浮辊系统
一种同时具有纠偏和张力控制功能的浮辊系统
合作：
电喷印
一种基于电喷印的立体结构的制备方法及装置
合作：
旋转补偿器型椭偏仪
一种旋转补偿器型椭偏仪的系统误差评估及消除方法
合作：
曲面法矢
一种复杂曲面法矢在机检测装置及方法
合作：
波片光轴
一种复合波片光轴对准方法
合作：